中古 LAM RESEARCH Torus 300S/RF #9395313 を販売中

LAM RESEARCH Torus 300S/RFは、高スループット性能とプロセスパラメータの正確な制御を提供するように設計されたエッチャー/アッシャー装置です。低コストで柔軟な設計が特徴で、ユーザーはプロセス流量とレイヤープロファイルを簡単に調整して希望の表面品質を達成することができます。Torus 300S/ RFは、365mm x 365mm x 25mmの広い処理チャンバーで高いプラズマエッチング均一性を提供し、より高いアスペクト比と厚いエッチング膜を可能にします。その高度な冷却システムは、より効率的な動作を可能にし、より良いエッチング深さと欠陥のない表面をもたらします。このデバイスには、独立したイオンとラジカルを提供する高度なRFジェネレータが搭載されており、各エッチングステップを精度よく最適化できます。このデバイスは、すべての誘電体、有機材料、および金属材料のプラズマエッチングをサポートし、複数の材料をエッチングすることができます。Torus 300S/RFには、完全に準拠したトレース湿度システムが統合されており、優れた再現性と信頼性の高い再現性のあるプラズマエッチング結果を保証します。Torus 300S/RFは、VPSトレンチ、凹んだリング、メッキされたビア、キャビティやカットアウトなど、さまざまなエッチング形状を製造するために使用できます。このデバイスには、自動ロード/アンロード・システムと、ユーザーフレンドリーなパラメータ調整のためのタッチスクリーンインターフェイスが装備されています。また、高品質のウェーハ加工のために585°Cまでの高温を維持することができます。さらに、このデバイスは、わずか40分の「パワーアップからエッチングまで」の高速時間を誇っています。LAM RESEARCH Torus 300S/RFは、時間に敏感なプロセスに最適なエッチングソリューションです。モジュラー設計と一貫した均一なエッチングにより、再現性と信頼性の高いプロセス結果を実現し、低コストでハイエンドエッチングソリューションをユーザーに提供します。小さいサイズながらも、最短時間で最も厚いフィルムを通して加工することができます。