中古 LAM RESEARCH Torus 300K #9311158 を販売中

LAM RESEARCH Torus 300K
ID: 9311158
ヴィンテージ: 2007
Systems Process: ETCH 2007 vintage.
LAM RESEARCH Torus 300Kはエッチャーまたはアッシャーで、パターンを基材にエッチングするために使用される機械の一種です。精密で高品質なパターンを迅速かつ効率的に作成するように設計された高度で洗練されたツールです。300Kワットの電源を搭載し、温度範囲での動作が可能で、様々な用途に適しています。マシンは、その望ましい結果を生成するために一緒に動作するいくつかの主要なコンポーネントを持っています。1つ目は、エッチングパターンを作成するために使用されるガスを収容する、その源チャンバーです。これは、任意の余分なガスがに渡され、それが回収され、機械内でリサイクルすることができ、収集チャンバーに接続されています。機械の2番目の部分は、電源を制御することによってエッチング処理を開始または停止するために使用される制御ユニットであり、さまざまなエッチングパラメータを設定することができます。他のパラメータは、エッチング時間、ライン速度、パルス幅なども設定できます。Torus 300Kは、パターンをエッチングする基材に電極からの堆積物を使用しています。これは、ガスがイオン化される原因となる一連の短いマイクロ波パルスを使用して行われます。この過程で形成された分子は基材を分解し、パターンを形成します。正確なパターンは、コントロールユニットに入力された設定によって異なります。その結果、精密で複雑な設計が可能になり、欠陥が少なく均一性が高いことが再現できます。全体的に、LAM RESEARCH Torus 300Kは、精密で複雑なパターンを迅速かつ効率的に生成できる強力で洗練されたエッチャー/アッシャーです。その設定範囲は、優れた均一性と信頼性を持つ複雑なデザインの作成を可能にします。この汎用性により、幅広いエッチング用途に最適です。
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