中古 LAM RESEARCH Torus 300B #9408569 を販売中

LAM RESEARCH Torus 300Bは、集積回路製造用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチングとアッシングの様々な操作に使用できる高度に専門化されたエッチャーとアッシャーです。Torus 300Bは、反応性ガス混合物または同位体のいずれかを柔軟に使用できるツインガス配送装置を備えています。その広いアクティブ領域は、エッジ分解能を損なうことなく、高密度エッチングとアッシングを可能にします。LAM RESEARCH Torus 300Bのチャンバーは、時間とエネルギーロックされた配達の両方のために設計されており、可能な限り最高の結果を保証します。最大5 mbarの調整可能な圧力範囲と-5°C〜+150°Cの調整可能な温度範囲を備えています。これにより、さまざまなエッチングパラメータを持つほぼすべての材料を効果的にエッチングできます。金属や誘電体の堆積にも使用でき、幅広い製造業務に最適です。Torus 300Bは、金属や誘電体などの材料を高精度に蒸発させる熱蒸発器を採用しています。また、エッチングモニターを内蔵しており、エッチングプロセスの進行状況を追跡することができます。付属のソフトウェアでは、基板材料、サイクルステップ数、フォトマスクパターン、プロセス制御パラメータなど、さまざまなエッチングパラメータをプログラムできます。LAM RESEARCH Torus 300Bは真空チャンバーに囲まれており、プロセス環境を安定させ、ユーザーが再現性と信頼性の高い結果を得ることができます。さらに、それは容易な取付けおよび最低の維持のために設計されています。Torus 300Bは自動化された自己診断システムを利用しており、ユーザーはユニットの問題をすばやく診断して対処することができます。LAM RESEARCH Torus 300Bは安全性を念頭に置いて構築されています。これは、緊急時に迅速にツールをシャットダウンし、ガスを避難させるための緊急インターロックマシンを備えています。さらに、内蔵の圧力および温度監視アセットが含まれています。これらの機能はすべて、オペレータが安全で準拠した環境で動作することを保証します。全体として、Torus 300Bは高品質の集積回路を製造するための理想的なエッチャーおよびアッシャーです。ツインガス配送モデルと調整可能な圧力および温度範囲により、さまざまなエッチングおよびアッシング用途に簡単に対応できます。調節可能なサイクルパラメータと組み込みの安全機能により、オペレータの信頼性と安全性が向上します。