中古 LAM RESEARCH Torus 300B #9407118 を販売中

LAM RESEARCH Torus 300Bは、高精度ウェーハを迅速かつ正確に処理するように設計されたシングルウェーハエッチャーおよびアッシャーです。この装置は高い選択性と信頼性で構築されており、さまざまな複雑な形状やサイズの構造を正確に生成することができます。Torus 300Bは、密閉ループのフィードバック制御により動作し、チャンバーの圧力とガスの流れの両方を監視して、正確な均一なエッチングを実現します。これにより、幅広い用途に適したパターン寸法の正確なエッチング構造が可能になります。これらのアプリケーションには、高度なリソグラフィ、ファイン回路およびMEMS製造、3D IC （3次元集積回路）、および高密度電子デバイスが含まれます。2段ポンプのシリーズは、スループットと歩留まりを向上させる堅牢で高速かつ高精度なエッチング処理を提供します。これらのポンプは、潜在的な振動を低減するために堅牢に取り付けられ、真空シールされています。さらに、特許取得済みの自己整列プラズマソースを組み込み、高度なプロセス制御を備え、高性能な動作を保証します。LAM RESEARCH Torus 300Bでは、ウェーハ全体に一貫したエッチングを提供するために最適なプロセスタイミングに従うフレキシブルマッチモード（FMM）や、非生産的なサイクルタイムを最大70％削減できる選択可能なサイクルタイム低減（CTR）機能など、幅広い先進的な機能も提供しています。さらに、有害な排気ガスからオペレータを保護するために、ULPE （Ultra Low Particle Etch）プロセスを含む幅広い安全および保護メカニズムを備えています。全体的に、Torus 300Bは、正確な選択性と均一性を備えた複雑なパターンを生成することができる信頼性の高い高度なエッチングツールです。一連の2段式ポンプは高性能と高精度を提供し、統合された自己整列プラズマ源は高性能な動作を保証します。さらに、オペレータの安全を確保するための安全と保護メカニズムも提供します。