中古 LAM RESEARCH Torus 300B #9407116 を販売中
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LAM RESEARCH Torus 300Bは、半導体産業でウェーハ加工に使用される高度で高精度なエッチャー/アッシャー装置です。エッチャーは、エッチングや研磨など、さまざまなプロセスに使用されます。Torus 300Bは、エッチングおよび洗浄プロセスの広い範囲で高精度で再現性の高い結果を提供することができる完全自動化されたツールです。LAM RESEARCH Torus 300Bは、エッチパラメータを最大限に制御するために、クローズドループ反応チャンバーと統合されたガス制御システムを搭載しています。反応チャンバーを素早く簡単に変更することができ、異なるエッチング化学と基板を簡単に切り替えることができます。チャンバーの容量は最大1。8Lで、ユニットは低温エッチングオプションで設計されています。Torus 300Bは、運用コストを最小限に抑えるために非常に効率的な反応チャンバーで設計されています。高度なプロセスコントロールアルゴリズムと改良されたハードウェアが統合され、優れたプロセスパフォーマンスで高い反復可能な結果をもたらします。エッチングプロセスは、マシンのユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを介してリアルタイムで監視でき、エッチングパラメータを完全に制御できます。このツールの統合されたウェーハハンドリングモジュールは、ウェーハローディングとアンロードを迅速かつ正確に行うことができ、ウェーハ処理を合理化します。このアセットは、in-situスクラブや精密クリーニング用の専用ポンプなど、幅広い追加機能でカスタマイズできます。高度な真空パッケージを統合して、プロセス精度を最適化し、プロセス時間を短縮することもできます。LAM RESEARCH Torus 300Bは、ユーザーフレンドリーで信頼性の高い設計で、プロセスの安定性と再現性を向上させます。モデルの印象的な生産性とパフォーマンスは、今日の市場の他のエッチャーやアッシャーとは一線を画しています。これは、ハイエンドのウェーハを効率的かつ確実に処理しようとするあらゆる半導体製造施設にとって理想的な選択肢です。
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