中古 LAM RESEARCH Torus 200 #9376881 を販売中

LAM RESEARCH Torus 200は、幅広いアプリケーションプロセスのニーズに対応するために特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。インライン3次元（3D）イメージング装置、下流の観測ポート、統合コンベアシステムを備えています。この多機能エッチングおよびアッシングユニットは、シングルチャンバー内でのハイスループット基板調製および薄膜蒸着に最適です。Torus 200は、同じチャンバー内のエッチングとアッシングを組み合わせた高度な加工汎用性を提供します。最大4つのプロセスガスをサポートするインテリジェントガスコントロールマシンを備えており、1サイクルで複数の基板およびフィルムプロセスを可能にします。ガスコントロールツールは、各基板のエッチングおよびアッシング条件を自動的に調整することにより、反応パラメータを最適化します。基板の正確なアライメントとツールの簡単なロードとアンロードのために、統合された基板コンベアアセットが提供されます。LAM RESEARCH Torus 200は、インライン3Dイメージングモデルを使用して、加工中の基板上の欠陥や不純物を検出します。自動化された検査装置は、プログラムされたデータと実際の基板状態との間の不適合を検出することができ、リアルタイムフィードバックにより究極のプロセス精度と制御を実現します。下流の観測ポートは、エッチングとアッシングのプロセスを監視および操作するのにも役立ちます。このポートは、優れた観察機能を提供し、ユーザーが基板の前面、側面、背面を同時に観察することができます。ユニークな自動配置システム（APS）は、表面の不規則性を考慮して、サンプルの基材カラー上の位置を最適化するために利用可能です。Torus 200は、人員と機器の両方の安全性を確保する高度な安全機能を備えています。エッチングとアッシングの品質をさらに向上させるために、他のPrCBシステムと完全に統合できる高度な組込みソフトウェアソリューションを利用できます。ユニットの軽量で堅牢な設計により、パイロットと大規模生産の両方で複数のアプリケーションに適しています。LAM RESEARCH Torus 200は、あらゆる用途に適した信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。Torus 200は、複数のプロセス機能、高度なイメージングマシン、統合されたコンベアツール、安全機能を備えており、高品質で信頼性の高いソリューションを提供することにより、お客様のさまざまなニーズを満たしています。さらに、軽量で堅牢な構造により、さまざまな条件下での連続的で自動化された操作に最適です。