中古 LAM RESEARCH Torus 200 #293689233 を販売中

LAM RESEARCH Torus 200は、様々な産業向けの超純度半導体材料および部品の製造が可能な高精度エッチャーです。この高度なツールは、特許取得済みのデュアルビーム、レーザーアシストエッチング法を備えており、不均一性とエッチング歪みを最小限に抑えながら、望ましいパターン化を実現します。Torus 200は、最大100Wの電力を供給するDCプラズマ発電機や、精密かつ定期的なエッチングを提供するように設計されたRF電源など、さまざまな先進的なコンポーネントを搭載しています。また、エッチング工程の精密な制御を可能にする最先端のフォーカシングアセンブリアレイと、エッチング工程中の理想的な条件を維持する再循環の多段冷却装置を備えています。このデバイスには、N2、 O2、および他のガスの組み合わせを検出する窒素検閲器、有害ガスを含む自動エンクロージャなど、さまざまな安全機能も装備されています。さらに、直感的な制御システムは、オンボードアラーム、自動キャリブレーション、バックアップおよびリカバリ機能、および簡単なナビゲーションと正確なエッチング結果を可能にする強力なディスプレイユニットを備えています。LAM RESEARCH Torus 200の精密エッチング機能は、半導体業界にとって非常に貴重なツールです。物理蒸着（PVD）やイオンミリングを含む複数のエッチング方法により、高純度材料における微細部品の高精度なパターニングを可能にします。これにより、最先端の半導体やその他の精密部品の製造に最適です。Torus 200は印象的なデバイスであり、その簡素化されたユーザーフレンドリーな制御機械は、あらゆる生産ラインに優れた追加をもたらします。LAM RESEARCH Torus 200は、精密エッチング法と高度な安全機能により、半導体部品の製造に不可欠なデバイスです。