中古 LAM RESEARCH TM4.1 #9198145 を販売中

LAM RESEARCH TM 4。1は、高品質で再現性の高いプロセスを、ガス、圧力、温度の広い範囲で提供するために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。TM 4。1エッチャー/アッシャーは、堅牢で高精度な設計と動的な現場プロセス制御を組み合わせ、さまざまなプロセスでの歩留まりとスループットを最大化します。TM 4。1エッチャー/アッシャーは、堅牢で信頼性の高い機械部品で構築され、メンテナンスを最小限に抑えながら長寿命を実現します。その堅牢な設計は、ウェーハの動作全体にわたって再現性の高い均一性を確保するのにも役立ちます。TM 4。1には、電気フィードスルー付きのクォーツチャンバー、ステンレススチールフランジ、200mmセレクターバルブ、および幅広いプロセスガスに対応するためにカスタマイズ可能なプロセスガスアセンブリが含まれています。TM 4。1の専用コントローラーシステムは、動的なin-situプロセス制御と適応応答を提供し、すべてのプロセスレシピで再現可能なパフォーマンスを保証します。さらに、TM 4。1には、サンプルベーキング用のセカンダリプロセスチャンバーと、ウェーハ、マスク、その他のアイテムを簡単にロードおよびアンロードするためのウェーハアライメントとロードポートが含まれています。また、TM 4。1は、自動緊急シャットオフバルブ、不活性ガス貯蔵システム、アクティブなチャンバーパージングシステムとの統合機能などの高度な安全機能も備えています。TM 4。1は、エッチングやアッシング、レジストストリップ、薄膜成膜、厚膜成膜、ウェーハバリなど、さまざまな用途に使用できるように設計されています。要するに、LAM RESEARCH TM 4。1 etcher/asherは、高度なレーザーエッチングプロセスレシピとカスタムプロセスの動的なin-situプロセス制御を提供する堅牢で高精度なシステムです。その堅牢な機械的および電気的設計、汎用性の高いプロセスガス、および高度な安全機能により、一貫した性能と再現性が保証されます。TM 4。1エッチャー/アッシャーの機能と効果的かつ効率的なウェーハ処理サービスを組み合わせることで、製造メーカーはウェーハ処理アプリケーションを最大限に活用することができます。