中古 LAM RESEARCH TCP 9608 #79000 を販売中

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ID: 79000
Metal Etcher Lam Rainbow Classic Software Ver. E1.5-021 Stand Alone Installation Bolt-On SMIF Equipe Autoloader Configuration 9600SE Process Chamber Monopolar ESC Fixed Gap 12” TCP Coil Seiko Seiki 1000ml TMP Heated Pump Stack and Manifold Photodiode Endpoint Detection (703nm & 261.8nm) Chamber Liner Hinged DSQ Chamber WVDS Remote AC Box Remote Operator Interface Atmospheric Passivation Module Edwards 40/80 TCU (3) Onboard Advanced Energy RFG 1250 RF Generators.
LAM RESEARCH TCP 9608は、エッチャー/アッシャーであり、回路基板やその他の集積回路を作成するために、ハイテクエッチングおよびアッシング業界で一般的に使用されています。TCP 9608は高いスループット率、および優秀な質の生産等級のエッチャー/asherです。このエッチャー/アッシャーは、5つの独立したチャネルと32のプロセスレベルによって駆動され、完全なプロセスの柔軟性を実現します。LAM RESEARCH TCP 9608の統合された安全機能により、信頼性の高い安全な操作が可能になります。TCP 9608は、優れた品質を維持しながら、高いスループット率を達成するために、標準プロセスまたは性能プロセスのいずれかを使用します。高度なリソグラフィ装置と精密統合ドーピングシステムを備えています。これにより、材料を損傷することなく、複雑な集積回路を簡単かつ正確に作成できます。さらに、LAM RESEARCH TCP 9608は高効率であり、コスト削減のために消費電力を最小限に抑えています。TCP 9608は、さまざまな材料を使用してエッチング/アッシュを行うことができます。これらの材料には、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、窒化アルミニウムなどがあります。集積回路の複雑な設計を実現するためには、多種多様な材料が必要です。各ファンビームを個別に微調整できるため、エッチング/アッシング時にもガンコントロールチャンバーは有益です。これにより、生産プロセス全体を通じて優れた精度と再現性を実現します。LAM RESEARCH TCP 9608の統合された安全機能は、危険物からの保護を確保しながらも高いスループットを実現するように設計されています。プレフラッシュおよびポストフラッシュシステムは、各プロセスの前後にチャンバを洗浄し、チャンバ内に不要な材料が残らないようにします。さらに、TCP 9608は、機械にリアルタイムでアクセスできる集中監視および制御ユニットに接続されています。これは、予期しない問題がないことを保証するプロセスのリモート監視を可能にします。結論として、LAM RESEARCH TCP 9608は最高品質のエッチャー/アッシャーです。高いスループット率と優れた品質を備えている一方で、利用可能な最もコスト効率の高いシステムの1つです。それが/灰をエッチングすることができる材料の多様性と統合された安全機能は、それが利用可能な最高のエッチャー/アッシャーの一つであることを確認します。
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