中古 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9226416 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9608 SEは、アルミニウム、真鍮、その他の金属を研磨するために特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。エッチャー/アッシャーは、制御されたプラズマ源を使用して、金属表面を正確なレベルと温度でエッチングします。このシステムは、2つの別々のチャンバーで同時にエッチングとアッシャーを行うことができる非常に汎用性の高いマシンです。最初のチャンバーは、701°Cまでの温度と塩素、酸素、アルゴン、窒素などの様々なガスで選択的エッチング処理を行うように設計されています。薄膜成膜、マスキング、トレンチ、パッド定義などの構造化プロセスに最適です。2番目のチャンバーは、アッシングプロセスを実行するように設計されており、750°Cまでの温度が可能です。これにより、ポリマー、フォトレジスト、perfluroポリマー、アクリルなどの有機材料をより迅速かつ効率的にアッシングできます。TCP 9608 SEには、エッチングおよびアッシングプロセスの効率をさらに高めるためのいくつかの機能があります。エミッションモニターと圧力センサーを搭載し、プロセスの安定性と再現性を確保します。さらに、エッチングチャンバーには、エッチングとアッシングプロセスを正確に制御するための調整可能な流量とガス混合混合システムがあります。このチャンバーには、複数のレシピのプロファイルが統合されているため、一般的に使用されるプロセスを簡単に保存および繰り返しできます。LAM RESEARCH TCP 9608 SEは実験室および産業適用のために設計されています。安全運転のために設計されており、安全性を高めるための内蔵の安全シールドを提供しています。それはまた機械の長寿そして質を保障するセリウムおよびULの標準に従います。このシステムには、プラッテンのドリフトを最小限に抑え、精密なプロセス測定を実現する3軸移動能力というプロセス精度を確保する機能もあります。全体として、TCP 9608 SEは、研究者、産業エンジニア、および開発の専門家のニーズを満たすように設計されたエッチャー/アッシャーです。精密なエッチングとアッシング機能、およびユーザー保護のためのいくつかの安全機能を提供します。さらに、精密エッチングおよびアッシング処理のためのモーション機能と高度な制御システムを備えています。信頼できる汎用性の高いエッチャー/アッシャーをお探しの場合、LAM RESEARCH TCP 9608 SEは優れた選択肢です。