中古 LAM RESEARCH TCP 9608 SE #9157867 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9608 SEは、半導体製造用に設計された自動エッチャー/アッシャーです。最大300個の最大600 8インチウェーハを最大300WPHの速度で処理できます。このエッチャー/アッシャーは、20スロットカセットを備え、0。1mbarのチャンバー圧力制御を提供し、高性能エッチングプロセスを提供します。これは、低圧処理を特徴とする最初の生産エッチングの1つであり、有機蒸気相エッチングと互換性があります。TCP 9608 SEはモジュラー構造を特徴とし、真空システム、ガスおよび物質配送システム、制御システム、およびヒューマンマシンインターフェイス（HMI）を含む多数の自動コンポーネントが付属しています。手動ロボットメンテナンスの必要性を排除し、クリーンルームの互換性を確保した2部屋設計です。LAM RESEARCH TCP 9608 SEは、HMIによる簡単なプロセス制御と、チャンバー圧力とプロセスガスの微調整を提供します。また、有害化学物質の放出を防止するプロセスガス管理システムなど、堅牢な安全システムを備えています。TCP 9608 SEはトップダウンのプラズマソースを備えており、高い均一性と再現性を備えた高繰り返しフィーチャーパターンの作成に最適です。また、不要な化学プロセスの可能性を最小限に抑えるスプリットチャンバー設計を備えています。エッチャーのチャンバー圧力を最適化して、最高のスループットと最小の化学使用量を確保できます。LAM RESEARCH TCP 9608 SEは、ステンレス、SiC、 TiN/TiC、アルミニウム、チタンなどのエッチング用途で優れた性能を提供します。柔軟なアーキテクチャと幅広い処理オプションにより、片面と両面の両方のエッチングに使用できます。このエッチャー/アッシャーは、ハイスループットと低コストのウェーハ製造用にも設計されています。その統合されたプロセスは、高収量の高品質の製品を一貫して保証します。これらの機能により、TCP 9608 SEは、高品質な結果を提供する機能を備えた効率的なエッチャーを探している半導体メーカーにとって理想的な選択肢となります。その高性能性と費用対効果は、さまざまなウェーハ処理タスクを実行するための優れた選択肢となります。