中古 LAM RESEARCH TCP 9600SE II #293764330 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600SE II Asherは、半導体業界で最も要求の厳しいエッチング要件を満たすように設計された高速で完全に自動化されたプラズマエッチング装置です。最大4つの基板を同時に処理できるデュアルウェーハエッチャーで、これまでにない性能とスループットを提供します。このマシンは、今日利用可能な最も信頼性の高いエッチャーの1つであり、99。999％の生産歩留まりを定期的に提供することができます。このシステムは、高品質のアルミニウムおよびステンレス鋼の部品から構成され、高温および圧力で動作することができます。部屋の内部は均一なプロセス一貫性を保障するために400℃までの温度で維持されます。制御された大気中で動作することで、外部の空気からの汚染を排除し、最高レベルのプロセス制御を保証します。エッチャーへの電力は、密閉された堅牢な電源を介して供給され、ユニットは低い電力要件でウェーハを処理することができます。このマシンは、RFソースまたはマイクロ波源を使用してプラズマを開始するように設定できます。RFソースは、高周波モードと低周波モードの両方で動作できます。さらに、このツールは、迅速なバッチ処理または連続的なフィード操作のために構成することができます。LAM 9600SE IIには一連の安全機能が搭載されており、人員と機器を保護するための追加の層を提供します。これらには、レベル監視、振動フィルターシステム、圧力検出システム、プロセスコンピュータ監視を備えた液体窒素貯水池が含まれます。自動化されたプラズマエッチング資産は、プリエッチングクリーニング、冷却、データロギングなどのさまざまなサポート機能と統合されており、プロセス制御を最適化します。また、高度なスキャンアルゴリズム、精密エッチングウィンドウ、再現性パラメータなど、精密エッチングの最新機能を搭載しています。これにより、エッチング部品の最高品質レベルが保証され、効果的な生産に必要なプロセス最適化が可能になります。LAM 9600SE II装置は汎用性が高く、幅広い製品に対応できます。マイクロマッチング部品から高性能コンポーネントまで、品質を犠牲にすることなく小さな構造を効果的にエッチングできます。高度なエッチコントロールパラメータ、モニタリングシステム、システム統合機能を組み合わせることで、現在市場で最も信頼性の高いエッチングシステムの1つになります。