中古 LAM RESEARCH TCP 9600SE II #293757794 を販売中

ID: 293757794
Etcher Standalone with DSQ.
LAM RESEARCH TCP 9600SE IIは、最新の半導体製造のために設計された高精度の自動エッチング/アッシュ装置です。LAM RESEARCH TCP 9600 SE IIは、高度なエッチング/アッシュ技術とさまざまなプロセス機能を備えており、微細加工ニーズに対応した制御と精度をユーザーに提供します。TCP 9600SE IIは、高速で一貫したエッチングと灰のプロセス時間のために設計されており、Lamの高度な精密制御プロセス(PCP)技術を搭載しています。この技術は、変化するプロセス条件に適応する能力を備え、反復可能で一貫したプロセス結果を保証します。ユーザーは、ドライエッチング、ウェットエッチング、アッシュ、ディープエッチングなど、さまざまなプロセスレシピから選択することで、ツールを特定のアプリケーションニーズに合わせてカスタマイズすることもできます。TCP 9600 SE IIの統合ソフトウェアシステムは、温度、圧力、およびその他のプロセスパラメータをリアルタイムで監視し、各実行の終了時に詳細なプロセスレポートを提供します。これらのプロセスレポートは、お客様固有のプロセスパラメータの一貫性と正確性を微細な許容範囲内で保証するために使用されます。さらに、ソフトウェアスイートには、データ分析と統計プロセス制御パッケージが組み込まれており、ユーザーが結果を監視し、完全なプロセスのトレーサビリティを維持するのに役立ちます。LAM RESEARCH TCP 9600SE IIは、可変チャンバー圧力や温度、ウェーハバイアスなどの高度な環境制御機能も備えています。洗練されたガス封じ込めユニットにより、LAM RESEARCH TCP 9600 SE IIは、すべての規制要件を満たしながら、クリーンで安全な処理を保証します。TCP 9600SE IIは、すべてのプロセスで高スループットレートで最大スループットを実現するように設計されています。コンパクトなフットプリントにより、小型の乾式およびウェットエッチング用途に最適で、最大8台のウェハキャリアを容易に収容でき、最大の生産性を実現します。TCP 9600 SE IIは、制御と精度を最大限に高めるために、さまざまな業界標準のロボットシステムと統合することができます。これにより、さまざまな自動ウェハローディングと検索が可能になり、ユーザーは一貫して高いプロセス歩留まりを維持できます。LAM RESEARCH TCP 9600SE II from LAM RESEARCHは、高度な半導体製造のための汎用性と信頼性の高いエッチング/灰マシンです。マイクロファブリケーションのすべてのニーズに対してより大きな制御と精度をユーザーに提供し、製品が最高水準を満たしていることを保証します。
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