中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9389938 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、IC包装/先進デバイス製造ニーズに合わせたウェットエッチング/アッシング装置です。この最先端のエッチャーは、スループット、歩留まり、均一性を念頭に置いて設計されています。それは温度の変化に免疫があり、異なった流動特性の化学システムを収容できます。その静止プロセスチャンバーは、サンプルサイズに関係なく、均一なエッチングを保証します。さらに、独立したチャンバー設計により、各ウェーハが独自の速度でエッチングされ、チャンバー全体の均一性が保証されます。LAM RESEARCH TCP9600エッチャーは、急速な熱酸化物、酸化エッチング、酸化ストリッププロセスにより、高いスループットと柔軟なプロセス統合を提供します。その効率的な熱伝達技術は、幅広い制御機能（ターボポンププロセスチャンバー、プリセット変数、および調整可能なサンプルサイズ）と組み合わせて、オペレータは特定のアプリケーション要件を満たすためにエッチングプロセスを調整することができます。そのコンピュータ制御プロセス管理ユニットは、セットアップと操作に費やす時間を削減します。さらに、TCP-9600は、高密度SMCの全域で優れたプラズマ均一性と「大規模マルチタスク」化学を提供することができます。そのタイトな温度制御は、ドライエッチングの結果を改善し、ユーザーに高い収率を提供します。エッチャーはさらに、より正確で信頼性の高いクリーンルームプロセスのための真空および圧力制御を備えています。TCP 9600は、直感的なオペレータインターフェースとグラフィカルLCDディスプレイを備えたオペレータフレンドリーなマシンで、エッチング処理を簡素化します。そのモジュラー設計は取付け、統合および再構成を便利および費用効果が大きいようにします。また、このユニットは、ISO 5、6、および7のクリーンルーム互換性の認定を受けており、クリーンルーム空間に持ち込まれたほぼすべてのSMT機器で使用することができます。全体として、TCP9600は最も要求の厳しいICパッケージングの課題に対処できる強力で信頼性の高いエッチャーです。堅牢な設計と高度な機能により、比類のない結果が得られ、ICパッケージメーカーや先進的なデバイス製造業者に最適です。