中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9262480 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、金属、III-V化合物、誘電体の高度エッチング用に設計されたプラズマエッチャー/アッシャー装置です。LAM RESEARCH TCP9600は、さまざまな薄膜アプリケーションに合わせた高度で精密なプロセスを提供し、優れた再現性、均一性、高品質な結果を提供します。TCP-9600には、900 MHzの高出力ソース、2"のソースチャンバー、24" x 21"のRFバイアスプラテン、およびプリロードされたレシピを備えたコンピュータインタフェースが含まれています。TCP9600は、非常に薄い層をエッチングし、数ナノメートルの厚さまで、高い均一性と再現性を持つことができます。これは、高度な薄膜エッチング要件に最適なソリューションを提供します。TCP 9600はユーザーのニーズに合わせて完全にカスタマイズ可能で、あらゆるタイプのエッチングプロセスに最適です。また、複数の化学タイプとさまざまなチャンバーサイズとプロセス能力をサポートしています。LAM RESEARCH TCP-9600は、驚くべき精度とプロセスの再現性を提供します。プロセス条件を常に監視および調整し、エッチングの再現性と歩留まりを大幅に改善します。900MHzの電源は、他のシステムよりも高い電力密度を生成しますが、その包括的なコンピューター制御機能により、イオンエネルギー、イオンフラックス、パワーレベルなどのプロセスパラメータを微調整できます。このエッチャー/アッシャーは、マルチチャンバーシステムでスループットを向上させます。統合されたRFバイアスプラテンにより、LAM RESEARCH TCP 9600は、単一のプロセスサイクルでより大きな領域のエッチングを可能にし、複数の操作の必要性を低減するのに役立ちます。安全面では、LAM RESEARCH TCP9600は、温度監視、安全インターロック、およびその他の安全機能を備えた労働者の安全を保証します。プラズマエッチャー/アッシャーには、プロセスパラメータの記録を保持するオンボード診断ユニットも装備されており、オペレータが優れた品質と再現性を確保するのに役立ちます。TCP-9600は、最高の精度とプロセスの再現性を提供する汎用性の高い高性能エッチャー/アッシャーマシンです。高度なプロセス能力と高品質な結果を必要とするアプリケーションに最適なソリューションです。