中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9243880 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600
ID: 9243880
ヴィンテージ: 1996
Metal etcher 1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600は、半導体材料のエッチングとアッシングを可能にする高度なエッチング/アッシング装置です。このシステムは、高度な独自技術を使用して高解像度のエッチングとアッシングを行い、デバイス開発やプロセス改善に最適です。このユニットは高いスループット率を備えているため、大量生産に適しています。さらに、プラズマエッチング表面処理、酸素プラズマエッチング、誘導結合プラズマエッチングなど、幅広いプラズマエッチングオプションを用意しており、お客様に最適なエッチング技術をお選びいただけます。LAM RESEARCH TCP9600は、柔軟性と組み合わせて、エッチングプロセスに対する高いレベルの制御を提供します。このモデルは、ユーザーが1つのモードから別のモードに急速かつ便利に切り替えることができる高速スイッチング機能を備えています。さらに、ユーザーはプログラマブルロジックコントローラ(PLC)を使用して、アプリケーションに必要なプロセスパラメータを簡単に維持できます。TCP-9600にエッチングおよびashing操作の間に温度を維持するのを助ける有効な処理の高度の冷水機械があります。さらに、このツールは、部品が完全にエッチングされていることを確認するために、統合されたエンドポイント監視(EPM)機能を備えています。ユーザーインターフェイスも直感的でユーザーフレンドリーで、シンプルで効率的な操作が可能です。さらに、ソフトウェア開発のヒント、コマンド、指示を含む広範なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)がアセットに含まれています。これにより、ユーザーはプロセスを監視し、リアルタイムのステータス情報を表示して、エッチングおよびアッシングプロセスの正確性を保証することができます。TCP9600は、優れた性能と品質で実行するように設計されています。これは、優れたエッチングの均一性と均等性を備えた、特に高速プラズマの可能性を秘めています。また、欠陥率が低く、ステップカバレッジが非常に高いため、大量の半導体デバイス製造やナノメートルスケール製造などの用途に適しています。このモデルは複数の選択と利用でき、力、速度および脈打つ幅の点でカスタマイズすることができます。例えば、TCP 9600には、リモートアクセスとデータロギングのためのオプションの無線LANを装備することができます。さらに、この機器には強力で信頼性の高いプログラマブルロジックコントローラ(PLC)が組み込まれており、プロセス制御と汎用性を最適化するために幅広い動作パラメータを簡単に生成できます。
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