中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9226996 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、各種材料の精密エッチングおよびアッシング用に設計された高度なエッチング/アッシング装置です。堅牢な設計を特徴とするLAM RESEARCH TCP9600は、低消費電力の最適化されたプラットフォームと、スループットを最大化し、メンテナンスコストを最小限に抑えるための再循環ガスパスを備えています。TCP-9600は、1サイクルにつき最大6個のウェーハを処理できる13。2 x 13。2インチのチャンバーサイズで、最適化された高圧プロセス環境を提供します。また、最適な高温、低温または周囲温度プロセス用のトライモードプロセスチャンバーを備えています。使いやすいユーザーインターフェイスと過熱安全スイッチにより、ユーザーフレンドリーな動作を保証します。自動化されたプロセスユニットには、高性能ターボポンプ、サンプル搬送機、フローコントローラ/ミキサーなど、いくつかの専用コンポーネントが付属しています。高性能ターボポンプはウォームアップ、プロセスおよび出口段階の間に高い部屋の避難の速度を提供します。サンプル搬送ツールにより、エッチング/アッシュチャンバー内のウェーハの自動位置決めが可能です。フローコントローラ/ミキサーは、プログラムされた間隔でプロセスガスのガスと比率の組み合わせを正確に制御します。TCP 9600には、バルブ、フローメーター、ガスレギュレータを内蔵した外部ガスボックスがあり、各アプリケーションに適した特定のパラメータを備えたプロセスガスを簡単に追加できます。ターボ分子ポンプ資産は、高真空プロセスの途切れることなく動作を保証します。LAM RESEARCH TCP-9600は、ハイエンドのデータ収集、データ分析、プロセス制御を含む高度なソフトウェアスイートも備えています。この洗練されたソフトウェアにより、温度、圧力、流量などのパラメータを迅速かつ正確に監視および調整し、最適なエッチング/灰の結果を得ることができます。TCP9600は半導体、ガラスおよび他の材料の精密エッチングそしてashingのために設計されている高度のエッチングおよびashingモデルです。堅牢な設計、最適化されたプラットフォーム、簡単な操作、高度なソフトウェアスイートから、この機器は精密なエッチング/アッシング結果を得るための究極のソリューションです。