中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9225269 を販売中
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ID: 9225269
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1998
Metal etcher, 8"
Includes:
Main body
Chiller
AC Rack
Rack
(2) Covers
(4) Dry pumps
(2) Cables
1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600は半導体産業のための高度な装置の大量の製造のために設計されている精密Asherです。この機器は、さまざまなプロセス機能を備えたモジュラーで堅牢に統合されたプラットフォームです。異なったモジュールの堅い統合は維持および操作の複雑さを最小にする堅牢なプロセスを作成します。LAM RESEARCH TCP9600は、光学アライメント技術を利用して、アルミニウム、引込められた酸化物および敏感な特徴幾何学の精密なエッチングを保証します。ウェットエッチングとドライエッチングの両方の機能を備えているため、直径200mmまでのさまざまなウェーハを費用対効果の高い処理が可能です。波および電子励起の2つのビーム源を使用して、TCP-9600は正確に1時間あたりの+/-0。1ミクロン以内に望ましいエッチプロセス限界率を維持することができます。最大60 TCP9600の基板を同時に扱うことができ、柔軟でカスタマイズされた処理が可能です。高度なユニットアーキテクチャであるIntellifexを使用して、エッチングレートとエンドポイント精度を自動的に最適化して生産性を向上させます。また、プロセス全体の安定性を監視するクローズドループ・ツールであるTotal Process Controlも搭載しています。これにより、歩留まりの向上、スループットの向上、一貫した高品質の結果が得られます。LAM RESEARCH TCP-9600は、高いエッチレート能力と精度に加えて、さまざまな先進技術を提供しています。多層エッチングが可能で、高度な膜厚制御や掃除資産などのデブリ緩和技術を導入しています。このモデルには、ガス安全装置や溶接監視システムなどのさまざまな安全機能も含まれており、危険な状況に対するさらなる保護を提供します。TCP 9600は全体として、半導体製造業向けに効率的で高精度で精密なエッチングソリューションを提供しています。高度な機能と安全システムにより、複雑な基板の大量処理に最適です。
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