中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9197759 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、幅広い材料で優れたエッチング品質を提供するように設計された、完全に自動化された高速プラズマエッチャーです。本装置は、片面エッチングと両面エッチングの両方をサポートし、優れた均一性で最大4ミクロンのプラズマエッチング深度を達成するために使用することができます。このマシンは、優れたプロセス制御を保証するために、選択可能なパワーレベルを備えた2つの周波数アジャイルRFソースを使用しています。LAM RESEARCH TCP9600は、性能を最適化するためにさまざまな圧力レベルで一貫したガスの流れを保証する革新的なガス供給システムを備えています。また、ガスフロー、圧力、室温、RF電力に関するリアルタイムデータを提供する高度なモニタリングマシンを備えています。TCP-9600は、先進的な半導体製造のためのLAM RESEARCH Endura™一連のプロセス機器の重要なコンポーネントです。この洗練された生産設備には、高品質のマイクロエレクトロニクスを作成するビームラインシステム（エッチング/蒸着、イオン注入、レーザーアニール）が含まれています。統合されたパフォーマンス監視とプロセス制御により、LAM RESEARCH TCP-9600は再現性のある超音波エッチングプロセスを保証します。TCP9600は、優れた品質と精度を高速で提供するように設計されています。標準レシピライブラリには、エッチング速度、チャンバー圧力、RFパワーレベル、ガスフロー、温度設定など、さまざまなプロセスパラメータが含まれています。直感的なGUIにより、プログラミングが簡単になり、リアルタイムのプロセス監視も可能になります。チャンバーは、最適なエッチングのための均一な低圧環境を提供するように設計されており、人間工学に基づいた設計は、メンテナンスが簡単で直感的であることを意味します。TCP 9600は、優れた品質のマイクロエレクトロニクスデバイスをエッチングする必要があるメーカーにとって優れた選択肢です。このツールの堅牢な機能、信頼性、および精度は、効率的で最適化されたパフォーマンスを保証するために組み合わされます。LAM RESEARCH TCP 9600は、優れたエッチング結果を持つ高品質の製品を作成するための理想的な選択肢です。