中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9177752 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、精密パターニングおよび表面処理機能を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。LAM RESEARCH TCP9600は、直径300mmまでのウェーハを処理するように設計されていますが、より小さなウェーハサイズはセカンダリアダプタで処理できます。一連の高精度・高速プロセスモジュールTCP-9600使用し、ウェットエッチング、ドライエッチング、スパッタエッチングなどのエッチング/アッシュプロセスが可能です。TCP 9600は、統合されたチャンバ設計により、従来のバッチ処理技術と比較して、スループプットとサイクルタイムの短縮を実現するように設計されています。TCP9600には、運用制御用のPLCシステムと、リアルタイム監視やリモートネットワークアクセスなど、さまざまなプロセス制御オプションが装備されています。さらに、このユニットは、プロセスパラメータ制御を自動化するためのソフトウェアスイートのプロセスレシピを備えています。LAM RESEARCH TCP-9600には、すべての加工現場で最適なプロセス性能を維持するための均一性制御および自動補充機能も含まれています。LAM RESEARCH TCP 9600は、様々なオプションのチャンバーで構成され、アッシング、平面化、トレンチなどの精密プロセスに使用できます。このマシンは、ウェーハの導入と抽出のためのさまざまな方法を使用しています、など、軸外ウェーハ取得、手動ウェーハローディングシステム、接触のないウェーハハンドリング、および現場SEMエンドポイント制御。これにより、LAM RESEARCH TCP9600は、複雑なチャンバー構成の全分野にわたって均一な性能を提供することができます。TCP-9600はまた、2次元イメージングおよびレーザー範囲検出機能を備えた精密位置検出機能を備えています。これにより、プロセスチャンバーの正確なイメージングと工具の稼働時間の向上が可能になります。さらに、アセットには、精密エッチングおよびアッシングプロセスのプロセスパラメータを自動化する一連のプロセスレシピが装備されています。TCP 9600は、密閉されたウェーハ環境により、高いレベルの安全性と信頼性を提供します。このモデルは、オペレーション・エミッションを削減し、適用される安全基準を満たすように設計されています。この機器にはオールインワンPC/サーバーが搭載されており、ライフサイクルの信頼性を超える信頼性とパフォーマンスを提供します。結論として、TCP9600は精密パターニングと表面処理能力を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーシステムです。LAM RESEARCH TCP-9600は、多数の高精度プロセスモジュールを使用することで、ウェットおよびドライエッチング、スパッタエッチングなどのプロセスをエッチング/アッシングすることができます。LAM RESEARCH TCP 9600は、さまざまなオプションのチャンバーで構築されており、均一な制御と自動補充により、最適なプロセス性能を実現します。このユニットは、密閉されたウェハ環境、精密位置検出、およびオートメーション用のプロセスレシピにより、高いレベルの安全性と信頼性を備えています。