中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9176483 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、ナノメートルスケール範囲の精密材料処理用に設計された中型バッチ処理プラズマエッチャーです。デジタルイメージ処理、マルチレベルプロセス制御、非金属を含む様々な材料の材料硬化を提供する15チャンバーシステムです。LAM RESEARCHのTCP9600はdesmearing、沈殿、アニーリングおよびエッチングを含む基質の表面処理の範囲に使用することができます。材料は金属、半導体、ガラスからポリマー、セラミックス、特殊コーティングまで多岐にわたります。それは組合せで使用することができる窒素、argon,pCF4、および彫版ガスのための選択が付いている15つのプロセス部屋と造られます。また、堅牢なマテリアルハンドリングシステム、自動サンプル搬送、パーティクルフィルトレーションシステムを備えているため、高い再現性のアプリケーションに最適です。主なユーザーインターフェイスはPCワークステーションで、完全なプロセスとマテリアルコントロールを提供します。すべてのプロセスがラベル付けされているため、ユーザーは特定の材料やアプリケーションに対して素早く簡単にマシンを構成できます。TCP-9600は、誘電体エッチング、デカム、アニール、沈着、光分解など、さまざまなプロセスオプションを提供しています。また、カスタマイズされたバリエーションを提供しています。調整可能なパルス時間、滞留、硬化のためのプロセスがあります。LAM RESEARCH TCP-9600 Etcherは、精密なナノメートルスケールの材料処理のための強力な選択肢です。環境安全を念頭に置いて設計されており、汚染リスクを最小限に抑えながら、ガス、電力、安全性を維持するために、すべてのプロセスチャンバーと輸送ブランチを最適化しています。TCP9600は材料加工にシンプルで正確なアプローチを提供します。パルス時間、ドウェル、その他のプロセス変数を正確に制御し、目的の結果を得ることができます。堅牢なマテリアルハンドリング、クリーンルームグレードの安全性、再現性の高い精度を備えたTCP 9600は、精密なナノメートルスケールの材料加工に最適です。