中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #9043962 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、優れた均一性と再現性を備えた揮発性、精密エッチングおよびアッシングプロセスを実行するように設計されたエッチャー/アッシャーです。最先端のチャンバー技術、プロセス制御、サポートシステムを駆使し、信頼性の高い動作と高品質な結果を幅広い用途に提供します。チャンバーのサイズは小さく、スペースの高い利用を可能にしますが、16立方インチの大きさのチャンバ容積を処理することができます。このシステムはコンピュータ制御のハードウェアを使用しており、パラメータの簡単な設定と監視が可能です。変形を最小限に抑え、転送マークを最小限に抑えるように設計されているため、可能な限り最高のエッチングとアッシング結果を実現できます。オペレータは、組み込みのソフトウェアプログラムを使用してパラメータを設定するだけでなく、プログラムを作成することができ、ユニットはプリセットを処理し、バッチ処理のために最大50ウェーハを格納することができます。さらに、マイクロプロセッサベースのPID制御を備えており、より高い精度と再現性を実現しています。これにより、ユーザーはチャンバー全体に均一なガスの流れを生成し、保持することができます。LAM RESEARCH TCP9600は、工具圧力の容易な設定、監視、追跡を可能にする圧力コントローラと、エッチングおよびアッシングプロセスに最適な環境を監視および設定できるプログラム可能な温度コントローラを内蔵しています。このアセットは、プロセスインプレイス機能も備えているため、複数のチャンバではなく、すべてのプロセスで単一のチャンバのみを使用することが容易で費用対効果が高くなります。また、フル・ウェーハまたはプロセス・ウィンドウの利用において柔軟性を高め、同じチャンバー内で複数のレイヤーを処理する機能も提供します。さらに、このモデルには高度な安全パッケージが付属しており、防火ドアやチャンバー、警告タイミング、プロセスオーバーライド、アーク故障検出など、ユーザーの安全を保証します。TCP-9600は信頼でき、良質のエッチャー/asherの解決、提供の精密および再現性、容易なオートメーションおよび優秀な安全対策です。