中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293825708 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、半導体ウェーハの加工やパターニングに使用されるエッチング/アッシュ装置です。このシステムは、遠隔制御された電子ビームを使用して、基板表面上の望ましい構造を正確にパターン化して処理します。ビームは、ユニット内の真空チャンバーに取り付けられた単一電子銃によって生成されます。電子ビームは2つの電磁コイルによって集中され、偏向されます；静電気レンズと静電気のたわみ機械。電子ビームは基板表面をスキャンして、あらかじめ定義されたパターンに従って選択的にエッチング、灰または堆積材料をスキャンします。LAM RESEARCH TCP9600ツールは、半導体加工の特定のニーズに合わせて設計された幅広い機能を提供します。これらの機能には、均質なガスの流れと加速資産を備えた大きなプロセスベイ、幅広いガス供給、ユニークに設計されたプラズマソースチャンバー、ビームの正確なアライメント、スキャン、制御のための高度なコントローラが含まれます。さらに、TCP-9600モデルは、直感的なグラフィカルディスプレイを備えた使いやすいユーザーインターフェイスを提供し、ユーザーは各プロセスステップの前にスキャン速度やエネルギーなどのパラメータを変更して最適化することができます。この装置はまた、リアルタイムイメージングを含むさまざまな診断ツールを提供しており、ユーザーは各プロセスのステップをリアルタイムで監視することができます。最後に、LAM RESEARCH TCP-9600 etch/ashシステムは処理速度が速く、より高いスループットと改善されたデバイス歩留まりを可能にします。このユニットはまた、変化する半導体アプリケーションに迅速に対応できる柔軟なアーキテクチャで設計されています。これにより、長期間、大量の半導体エッチングとアッシングでも機械の性能と信頼性が維持されます。