中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293824138 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、基板から軟質材料を正確かつ正確に除去するために設計された自動プラズマエッチャー/アッシャーです。LAM RESEARCH TCP9600には、エッチング用途に優れた生産性と性能を提供する高度な機能が含まれており、スループットの向上とサイクルタイムの短縮を実現しています。TCP-9600エッチャー/アッシャーは、デュアルマイクロウェーブインターフェイス（DMI）を使用して、すべての基板に対してより一貫した完全なエッチングを提供します。この技術は、エッチング速度の変動をほとんどなく、基板のほぼ完全なカバレッジを提供します。デュアルマイクロウェーブインターフェイスにより、正確な温度制御が可能で、一貫したエッチング性能を実現します。TCP 9600は、大面積のプラズマエッチングチャンバーと独自のプログラム可能なガス分配装置を備えた高度なエッチツールを備えています。ガス分配システムにより、チャンバー全体のエッチング環境を正確に調整でき、エッチング工程を最適に制御できます。この結果、均一なエッチング処理が行われ、エッチング速度に低い標準偏差が生じます。TCP9600はまた、基板の表面損傷を制限するのに役立つプラズマフィールドシェーピング技術を採用しており、よりクリーンで均一な表面処理プロセスを実現しています。RFアンテナを使用することで、幅広いプラズマ場の形状を可能にし、エッチングをより正確に制御できます。さらに、LAM RESEARCH TCP-9600には、ユーザーの安全とコンプライアンスを確保するためのさまざまな安全システムも含まれています。これには、エッチングの危険を最小限に抑えるためのオンボードクーラントユニット、粒子からの余分な保護を提供する湿度デッキ、および自動圧力および温度監視機が含まれます。LAM RESEARCH TCP 9600は、スループットの向上とサイクル時間の短縮により、高精度のエッチング性能を提供するように設計された完全自動エッチャー/アッシャーです。多種多様な基板を安全かつ正確に加工できる複数の機能を提供し、均一でクリーンな表面処理を実現します。このエッチャー/アッシャーは、幅広いエッチング用途に適しており、半導体業界の厳しい基準を満たすように設計されています。