中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293815236 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、半導体産業におけるフォトレジスト、誘電体、ポリイミドおよびその他のエッチング可能な材料の高度なエッチング、剥離および沈着のために設計された高度なエッチング、またはアッシャーです。高容量・低容量のバッチプロセスのみならず、プロセス開発や低コストのプロトタイピングにも適しています。LAM RESEARCH TCP9600は、高品質のパターンエッチング、高レートエッチング、均一な成膜、反応イオンエッチング（RIE）など、さまざまなプロセス機能を提供しています。操作では、エッチャーTCP-9600 2つの独立したプラズマソースチャンバーと2つの独立したエンドポイント制御システムで構成されます。プラズマ源は気体分布バルブを介して排気マニホールドに接続され、ユーザーは各チャンバーのプロセスパラメータをプログラムして制御することができます。これにより、ガス流量、温度、圧力レベルなど、ほぼすべてのエッチングおよび蒸着プロセスパラメータを定義して、望ましい結果を得ることができます。エンドポイント制御装置は、チャンバー内のプロセスを監視します。TCP9600エッチャーは、マイクロ波プラズマ発電機と高度な制御システムで設計されています。このユニットを使用して、チャンバー圧力、温度、およびその他のプロセスパラメータの両方を制御します。マイクロ波発電機は、複数のチャンバを使用しながら、より高速なプロセスを可能にします。高度な制御装置は、エッチングおよび蒸着プロセスのプロセスの安定性と精度を向上させます。TCP 9600エッチャーには、エッチングと蒸着レートの両方を測定するための高度なプロセスセンサーも含まれており、高レベルのプロセス制御とフィードバックを提供します。さらに、遠隔操作やデータストレージのためにコンピュータに接続することもできます。LAM RESEARCH TCP-9600は、最大9つのガスで動作することができ、エッチングチャンバー内で最大7つのガスの流れにプログラムすることができます。全体として、LAM RESEARCH TCP 9600エッチャーは高度なエッチングおよび成膜ツールであり、高度な大量バッチプロセスと低コストのプロトタイピングの両方に適しています。優れたプロセス制御、高い処理速度、および幅広いプロセスセンサーを提供し、最高品質の結果を保証します。