中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293809943 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、大容量プラズマ処理用に特別に設計されたエッチャー/アッシャーです。デュアルチャンバープラットフォーム上に構築されているため、複数の基板を同時にプラズマエッチングでき、バッチ操作のためにチャンバ間の高速スイッチオーバーが可能です。プロセスチャンバーは、直径8インチまでの2つの基板サイズに対応するように設計されており、8プロセスガス搬送装置を備えているため、厳密なプロセス制御が可能です。統合された真空システムは、低粒子の汚染レベルを提供し、大きな直線移動RFアンテナは、エッチング時間を短縮します。研磨されたステンレス製のチャンバーは、メンテナンスと長寿命を最小限に抑えます。LAM RESEARCH TCP9600には、エッチングプロセス全体を自動化し、あらゆるステップを監視する制御ソフトウェアが装備されています。メインコントロールコンソールは、リモートモニタリングと制御のための直接イーサネット接続で、簡単に操作するためのグラフィカルユーザーインターフェイスを提供します。また、標準的なレシピ設定のライブラリも含まれており、エッチングジョブを開始するためにあらかじめプログラムされたレシピのセットをユーザーに提供します。ユーザーはレシピライブラリにアクセスし、パラメータを変更してメモリに保存できます。さらに、ネットワーク接続により、複数のユニットをリモートで監視および制御できます。このユニットにはさらに500W RF発電機が装備されており、プラズマエッチング処理に必要なエネルギーを提供します。マルチモード動作により、ハードエッチングとソフトエッチングの両方で動作できます。RF放射の独自のラッチングマシンにより、TCP-9600は一貫した圧力で動作し、複数の基板に均一なエッチングを提供します。LAM RESEARCH TCP-9600は、ガス混合マニホールドを内蔵した自動ガスミキシングツールと2段リニアゲートバルブを備えており、正確な混合とメンテナンスが容易です。マルチゾーンミキシング技術により、ユーザーはエッチング材料に基づいてレシピ設定を調整できます。サブミクロンの高解像度3Dイメージング技術は、高品質のパターン形成を保証します。内蔵の真空アセットは、ガスや化学物質の露出を最小限に抑え、組み込みソフトウェアはアラーム保護と簡単なメンテナンスを提供します。全体的に、TCP9600は、任意の大量生産のニーズを満たす信頼性の高い、ユーザーフレンドリーなエッチングモデルを提供しています。パワフルな性能と高度な機能により、精度と精度の面で競合他社を凌駕し、メーカーにとって理想的な選択肢となっています。これらの機能は、プラズマ処理作業から最大限の効率と価値を求めている人にとって必須の機能です。