中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293809935 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、精度と高スループットでウェーハを正確に処理するために設計された強力なエッチャー/アッシャー装置です。堅牢で精密なクローズドループエッチングシステムを搭載しており、正確な温度制御と正確なサイクルタイムで完全に自動化された生産に対応できます。このユニットは、半導体デバイスの製造プロセスごとにカスタマイズできる完全にプログラム可能なソース/ドレイン・インプラント・ソースを備えています。幅広い素材・用途で高速エッチング・アッシング操作が可能です。LAM RESEARCH TCP9600は、モジュール式の高精度エッチングおよびアッシングツールで、用途に応じてさまざまなエッチングおよびアッシュ操作が可能です。専用のエッチングと灰室を備えたシングルチャンバー設計で、最大500°Cの温度範囲を提供します。このアセットには、頑丈な精密モーターが装備されており、エッチング速度を正確に制御することができます。また、アッシング速度、流量、圧力を正確に制御するための高度なプログラマブル機能も含まれています。TCP-9600はまた、高速およびスループットを提供し、最大200mm/minエッチレートと最大400mm/min灰レートを提供します。このモデルは、最大8つのプロセスに対応するように設計されており、それぞれに3レベルの深さと7レベルのエッチングがあります。また、自動ボーダー検出、サイドウォールプロファイリング、オーバーカット保護などの機能を備えた包括的なパターンカバレッジを備えています。TCP 9600は信頼できる装置であり、生産中に最大の稼働時間を確保するように設計されています。アクティビティやイベントを記録する高度なプロセス追跡システムを搭載し、ユニットのパフォーマンスを監視するために使用することができます。メンテナンスを容易にするため、TCP9600には、エッチングチャンバー、安全弁、モーターの定期テストを行うセルフモニタリングマシンも装備しています。LAM RESEARCH TCP-9600は、正確な材料処理と高いスループットを提供する堅牢で信頼性の高いエッチングおよびアッシングツールです。最新の半導体デバイス製造プロセスに適応可能なソリューションであり、精密エッチングとアッシングの高度な機能により、さまざまな産業アプリケーションに最適なソリューションです。