中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293805103 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、半導体産業で使用されるプラズマエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、高い再現性と精度を備えた正確なパターンとエッチングまたはアッシャー表面を設計しています。LAM RESEARCH TCP9600は、誘電体、金属、酸化ケイ素のエッチング率を最適化するために、個別に設定可能な2つの個別のソースチャンバーを採用しています。このユニットは、LAM RESEARCH独自の低圧誘導結合プラズマ源に基づいた洗練された効率的な新しいプロセスを利用しています。プラズマ源は、金属層、酸化ケイ素、窒化物材料からの構造物の高精度エッチングとアッシングを可能にします。この機械の革新的なソースチャンバーは、高純度で信頼性の高いプロセス結果を作成し、一貫したパフォーマンスを確保し、費用対効果の高いソリューションを提供するように設計されています。フルオートシステムは高度なプロセス制御とフィードバックを提供し、コストの削減と稼働時間の向上を実現します。TCP-9600はまた、簡単かつ正確なプロセスレシピのセットアップ、実行、プロセスの最適化を可能にするLAM RESEARCHソフトウェア機能の広い範囲が付属しており、最適なエッチング結果を保証します。LAM TCP 9600は、優れた精度と再現性を備えた誘電体、金属、酸化ケイ素のエッチングとアッシングを費用対効果の高い方法で実現します。2つの独立したソースチャンバー、統合されたオートメーション、および共通の制御ツールにより、プロセスの迅速かつ簡単なセットアップを実行できます。エッチチャンバーにはロードロックも装備されており、オプションの外部およびリアロードロックシステムにより高スループットを実現します。独自のプラズマソース設定により、環境に配慮した低消費電力ワークフローと高いプロセス均一性、再現性、安定性を実現します。さらに、この資産には独自の排気処理機能があり、環境に優しく費用対効果の高いメンテナンスはほとんど必要ありません。全体として、TCP9600エッチャー/アッシャーは、誘電体、金属、酸化ケイ素の材料を処理しながら、精度、再現性、精度を確保するように設計された先進モデルです。2つのソースチャンバー、一般的な制御装置、洗練されたプロセス制御およびフィードバックは、費用対効果が高く効率的なソリューションを提供します。このシステムにより、レシピのセットアップと実行が容易になり、最適なエッチング結果を得るためのプロセス最適化も可能になります。LAM RESEARCH TCP-9600は、環境に優しい設計と低メンテナンスのセットアップにより、半導体材料のエッチングとアッシングに信頼性と費用対効果の高いユニットです。