中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293762298 を販売中
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ID: 293762298
ウェーハサイズ: 8"
Metal etcher, 8"
(3) RFG 1251 Generators
ADIXEN / ALCATEL 1300 Turbo pump
ADIXEN Turbo controller
VAT 65 Gate valve
VAT PM-7 Controller
ESC Clamping
Dual endpoints: 703 nm and 520 nm
Bulk head mounting
Hine indexer
Closed loop
RF Match: Upper TCP, lower mini match, DSQ Match
DSQ Hinged
WVDS Auto fill
STEC 7440 MFCs
APM: Standard
Gases:
Gases / SCCM
CL2 / 200
BCL3 / 100
SF6 / 100
N2 / 50
N2 / 1000
AR / 100
O2 / 1000
CF4 / 200
H2O / 500.
LAM TCP 9600は、ハイスループット半導体製造における精密エッチング/アッシング用に設計された産業用エッチャー/アッシャーです。直感的なユーザーインターフェイスを使用して、クラス最高の制御、精度、再現性を提供します。この装置には、精密なエッチングとアッシングの実行を保証する最先端の光学アライメントシステムが装備されています。高解像度高速デジタルイメージャを搭載し、最高品質の画像をキャプチャします。また、ハードウェアやアクセサリを追加することなく、エッチング/アッシング用の基板を簡単かつ正確に配置できるようにする高度な光学系とソフトウェアも含まれています。このマシンには、LAM独自のTCP 9600コントローラも装備されています。このコントローラには、32ビットARM-Core内部プロセッサと、PIDコントローラ、温度センサ、モータなどのさまざまなデバイスとのインタフェース用の豊富なデジタルおよびアナログ信号入力と出力が含まれています。このツールには、ユーザーが資産設定をカスタマイズし、活動を監視し、リアルタイムで変更することができる包括的なソフトウェアアプリケーションが含まれています。コントローラは、TCP/IP、イーサネット、USBおよびRS232プロトコルを含むLAM高度な通信プロトコルを最大限に活用できます。これにより、モデルは他のコンピュータやデバイスと簡単にネットワーク接続できます。これらの通信プロトコルにより、機器をさまざまな制御システムに接続することができ、ユーザーは使用状況をカスタマイズしてさまざまな方法でシステムを構成する柔軟性を提供します。このユニットは、金属、合金、ポリマー、半導体、磁性材料など、幅広い材料の高速かつ効率的なエッチング/アッシング用に設計されています。この機械は、エッチング処理を正確に制御するために、110°C (230°F)までの幅広い温度範囲をサポートすることができます。このツールはまた、潜在的な危険からユーザーを保護するための安全機能の数を備えています。実証済みの信頼性に加えて、LAM TCP 9600は優れた性能と精度を提供します。このアセットは0。1 μ mまでの精度を提供し、エッチング速度は0。00001から100 μ/minの範囲です。また、深度と角度の精密な制御と優れた選択性を提供し、優れたエッチング結果を得ることができます。TCP 9600は、信頼性と精度の高いエッチングとアッシング機能を提供する革新的で最先端の産業用エッチャー/アッシャーです。ハイスループット半導体製造に理想的なソリューションであり、あらゆる用途において優れた制御、精度、再現性を提供します。
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