中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #293668641 を販売中
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LAM RESEARCH TCP 9600は、シリコン、石英、金属などの材料の信頼性、再現性、費用対効果の高い処理を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。それは標準的なプログラム可能な調理法の周期の完全に自動化された装置であり、正確で、正確なパターニングを可能にする時間、温度、圧力および酸素レベルの顕著な制御を提供します。システムの高精度な設計と性能仕様により、お客様のニーズに応じて様々な粘度と表面仕上げの材料に使用することができます。加熱された搬送アームを備えた2段の搬送および避難ユニットを備えており、正確で正確な材料の充填を可能にし、最大の信頼性と再現性を実現します。このマシンはまた、ユーザーフレンドリーなセットアップと制御を提供する9インチのタッチスクリーンLCDディスプレイを備えています。タッチスクリーンオペレーターインターフェイス、安全および警報システムを含むすべての電気部品はULリストされています。ツールの試運転からメンテナンスまでのトータルサポートは、LAM RESEARCHテクニカルサービスチームによって提供されます。また、自己診断および障害報告モデルも備えており、エラーの検出と修正を支援し、機器の最大稼働時間を確保します。高度な安全機能には、マルチパラメータ温度制御システム、真空モニター、安全操作のためのエアフィルトレーションユニットなどがあります。LAM RESEARCH TCP9600は、クォーツウェーハ、ガラス基板、SiO2絶縁材など、幅広い基板、セラミック、ポリイミド、ガラス材料をエッチングし、低抵抗の異方性材料を提供しています。この機械は半導体製造プロセスに不可欠な部品であり、いくつかの統合および自動化されたシステムが利用可能です。これは、優れたプロセス制御と一貫した結果を持つエッチングおよびアッシャーサンプルをユーザーに効率的かつ費用対効果の高い方法を提供します。
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