中古 LAM RESEARCH TCP 9600 #148436 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600は、高度な微細加工プロセス向けに設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。温度とプロセスパラメータを正確に制御し、精密な温度とプロセスパラメータを維持しながら、繊細な基板のエッチングとアッシングを可能にします。LAM RESEARCH TCP9600システムは、ユニットに組み込まれたガスクラスタイオン源に基づいており、正確で低電圧、および高電流電源を提供します。さらに、このマシンは、ツールの柔軟性を提供するために、ポストエッチングとポストアッシュの両方のアプリケーション用に設計された2つの取り外し可能なウェーハホルダーで設計されています。ホルダーは、最大200mmのウェーハサイズ用に設計されており、0。2〜0.6kVのプロセスレシピに対応しています。このアセットは、エッチングまたはアッシング操作中に基板の温度を制限できる温度および放熱制御機能も備えています。この機能は、高温によるサンプル損傷の可能性を最小限に抑えるためにも重要です。このモデルは、大気中の物質を反応させることで基板の汚染を防ぐ不活性ガス雰囲気を備えています。ユーザーが指定したレシピに基づいて制御されたパラメータを提供するようにプログラム可能です。TCP-9600は高度なプログラミング機能も備えており、エッチングパラメータの指定、ガスの選択、ガスの流れの有効/無効/選択、超高周波電力の有効/無効、クラスタおよびビームイオン制御の有効/無効を可能にします。ユーザーは個々のエッチングとアッシュパラメータを設定することもできます。最後に、TCP 9600の機器ソフトウェアは、エッチングおよびアッシング操作を構成および監視するための直感的なユーザーインターフェイスを提供します。全体的に、LAM RESEARCH TCP-9600は、正確な温度とプロセス制御を提供する高品質のエッチング/アッシングシステムです。その先進的な機能により、さまざまな基板上に高品質の構造とパターンを作成することができ、高度な微細加工プロセスに最適なソリューションです。