中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410050 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、デバイスレベルのプロセス技術要件を満たすために特別に設計された柔軟で費用対効果の高いエッチャー（またはアッシャー）装置です。このシステムは、穴、トレンチ、ノズル、埋め込みトレンチ、高アスペクト比、誘電体など、幅広いプロセスパラメータに適しています。高度な制御パッケージにより、優れた制御、速度、精度を提供しながら、汚染を最小限に抑え、高価なプロセスベースのレシピの必要性を排除します。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、高レベルのエッチング選択性と均一性、および高エッチング率を可能にするDCプラズマソースを使用しています。このエッチャーは、優れた歩留まりと再現性で、穴や溝などの2Dおよび3D機能を含む小さなジオメトリと機能を処理することができます。さらに、統合されたX-Yモーションマシンは、正確なプロファイリングと機能の調整を可能にします。高精度のモーションコントロールツールは、フィーチャー形状とサイズの均一性を確保するために調整することができます。また、統合されたウェーハクリーニングやスクラブ、高度な圧力と流量制御、独立したサーマルゾーン制御などの高度な技術機能も備えています。そのプロセス精度と精度は、独自の高度なChamberViewテクノロジーによってさらに強化されています。これにより、現場で重要なプロセス監視機能が可能になります。さらに、統合された高度なプロセスチューニングモード（PTM）は、優れた精度とプロセス制御を提供します。TCP 9600 SEは、ラインのフロントエンド（FEOL）およびラインのバックエンド（BEOL）プロセスを含むさまざまなプロセスに適応可能です。材料の種類やプロセス要件に応じて、0。3 μ mから150 μ mまでのエッチングウィンドウで複雑な構造を処理できます。さらに、エッチャーには、同じプロセスで金属と誘電体層の堆積を可能にするために、電着および蒸着プロセスが組み込まれています。結論として、TCP 9600SEエッチャーは、最も要求の厳しいデバイスレベルのプロセス技術要件を満たすことができる、費用対効果の高い信頼性の高い資産です。このモデルは、優れたエッチング選択性、均一性、精度、および優れたプロセス制御およびプロセス監視機能を提供する高度な技術を提供します。