中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9410049 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、幅広いアプリケーションを処理しながら、精度と精度を提供するように設計された高度なエッチャー/アッシャーです。可変温度制御装置、可変ガス流量AI2O3 O2圧力、高度なプロセス制御ソフトウェアなどの高度な機能を備えています。それは一貫した、反復可能な結果を可能にする作り付けのプロセスモニターが付いている十分に自動化されたエッチャー/asherです。ウエハのサイズは0。25インチから4インチまで対応可能で、4つのウエハカセット搭載ユニットを備えています。1〜100 Torrの圧力範囲と20〜950ºCの温度範囲で動作します。圧力および温度は原子的に監視され、機械は手動モードかプログラム可能なモードで動くように置くことができます。これは、効率的で信頼性の高い低コストの所有性能を提供するために構築された、生産性が高く効率的な機器です。このエッチャー/アッシャーにより、エッチプロファイルの均一性や高密度エッチングなどの高品質な機能を実現します。すべての部品は防蝕および低い維持であるように設計されています。このツールは、有毒ガスの使用を減らすために使用することができ、最高の安全基準に準拠したクローズドループ、自己再生ガス資産を持っています。全体として、LAM RESEARCH TCP 9600SEは、幅広い機能と機能を備えた最先端のエッチャー/アッシャーです。高品質な製品を生産する上で非常に効率的で効果的であり、研究、開発、生産プロセスに最適です。それは一貫した、反復可能な結果を提供するために造られ、あらゆるウエハサイズを扱うことができます。また、有毒ガスの使用を減らすために使用することができ、最高の安全基準に準拠したクローズドループ、自己再生ガスモデルを備えています。