中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300197 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、高精度マイクロエレクトロニクス部品の製造用に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、信頼性、再現性、正確な結果を容易にする最先端のコンポーネントと強力なソフトウェアから構築されています。高精度と再現性を必要とするウェハエッチング用途に最適です。LAM RESEARCH TCP 9600SEはモジュール式で、特定のニーズに応じて構成することができます。ユニットのすべてのコンポーネントは、プラズマチャンバーのサイズとタイプ、メッキのオプション、真空システム、および発熱体を含むカスタマイズ可能です。これにより、幅広いエッチングプロセスに対応できます。このマシンは、より高いスループット、精度、再現性を可能にするモジュラー、マルチガルバノメーター光学設計に基づいています。このツールには、さまざまなRFおよびDC電源、複数のソースチャンバー、および最適化されたエッチング速度と均一性を可能にするその他のコンポーネントも装備されています。また、エッチング性能を最大限に引き出す独自のプラズマ注入技術や、信頼性の高い一貫した結果を得るための幅広いプロセス制御オプションも含まれています。また、PSE （Pulsed Spectral Etching）、プロセス制御ステーション、ソフトウェアベースの制御機器、高速データ収集および分析サブシステムという2レベルの安全インターロックモデルも備えています。これらのコンポーネントにより、TCP 9600 SEはミクロンの1/20までの機能を正確にエッチングできます。全体的に、TCP 9600SEは、信頼性が高く、正確で反復可能な結果を提供するように設計された汎用性の高い高度なエッチャー/アッシャーシステムです。モジュール式の設計により、カスタマイズ性が高く、高度なコンポーネントにより、精度の高い結果とプロセス制御を実現します。さらに、その安全インターロックユニットやその他のコンポーネントは、常に安全な動作を保証するのに役立ちます。これにより、LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、研究開発から大規模生産まで、幅広いエッチング用途に適しています。