中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9300195 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、半導体業界での使用に最適化された産業用グレードのエッチャーおよびアッシャーです。複雑な構造を高精度で再現性の高い様々な基板に素早くエッチングするように設計されています。標準バージョンでは、リアクティブイオンエッチング（RIE）、エレクトロケミカルエッチング（ECE）、プラズマエッチング（PE）など、さまざまなエッチングおよびアッシングプロセスに優れた均一性と生産性を提供する新世代のプロセス制御ソフトウェアとハードウェアを使用しています。この機械には不活性ガス供給システムも含まれており、エッチングまたは灰プロセスの最適な均一性と品質を保証します。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、過酷な製造プロセスで信頼性の高い性能と長寿命を提供するために、最高品質の材料で構築されています。基板ヒーター（SH）は、プロセス室温範囲が25〜400 ºCで、さまざまなエッチングおよび灰プロセスを可能にします。さらに、TCP 9600 SEには、最大水平速度800mm/秒、垂直速度600mm/秒のX-Y-Z駆動システムが搭載されており、すべての金属および非金属に高速で正確なエッチングを提供します。TCP 9600SEは、ギガビットメモリデバイスなどのフルフィールド、ダイレクトライトエッチング、平面集積回路（IC）などのプロセス化学に使用できます。また、イオン注入やダイヤモンドプッシュ切断に優れた性能を提供するために最適化されており、要求の厳しい電子機器や太陽光発電デバイスの生産に適しています。エッチャーとアッシャーは、O2、 H2、 He、 CH4、高濃度のAr、 HCl、 SiCl4、 NH4HF2など、さまざまなガスの動作を可能にします。LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、リアルタイムのガスおよび真空測定をキャプチャするためのプロセス監視装置と完全に統合されています。同梱のオペレータHMI（ヒューマンマシンインターフェイス）は、複数の言語サポートを備えており、操作とトラブルシューティングが容易に行えるように設計されています。ダイアログ駆動のメニューは、マシンのセットアップと制御に必要なすべての情報をユーザーに提供します。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、産業用に設計された高度なエッチングおよびアッシャーであり、優れたエッチングと灰の結果を提供することができます。堅牢で使いやすい操作と高度なプロセス制御により、要求の厳しいエッチングと灰の生産プロセスに最適です。