中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9268139 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、半導体や石英材料、その他の特殊材料など、さまざまな基板用の高度なエッチングソリューションです。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、最先端のWindowsオペレーティング機器を搭載しており、他の周辺機器と迅速かつ簡単に接続できます。リアクティブイオンエッチング（RIE）技術は、グローバルイオンのアクティブビームを使用して、さまざまな基板に正確にエッチングされた機能を作成します。このシステムの高度な制御は、窒化物エッチングとフォトレジスト除去の両方の機能を提供し、最適な結果を得るために幅広いカスタマイズ可能なパラメータを提供します。使いやすい制御インターフェイスにより、エッチング速度、温度、ガス流量、チャンバー圧力などのパラメータを簡単にプログラミングできます。このエッチャーは、大型の機器フットプリントを備えており、より大きな生産ラインに統合することができます。9600 SEには高度なRFジェネレータが装備されており、ほぼすべての必要なサーフェスジオメトリを均一にエッチングできます。発電機は、一貫したエッチング結果を保証するために、タイトなRIEインピーダンス制御に準拠しています。また、プラズマ洗浄機能を備えており、有機残留物、表面酸化物層、金属酸化物層の除去が可能です。これにより、部品を非常に高い精度でエッチングすることができます。TCP 9600 SEには洗練された真空チャンバーがあり、超安定性と反復可能なエッチング性能を提供します。このチャンバーはRIE用にカスタム設計されており、最先端の真空ポンプ機と、すべてのチャンバー壁に単結晶ダイヤモンドのようなコーティングが施されています。これにより、最適なエッチング精度と再現性が保証されます。さらに、9600 SEはエレクトロ研磨されたチャンバーウォールで仕上げられ、最適なエッチング品質で長いライフサイクルを実現します。全体的に、TCP 9600SEは洗練されたエッチングツールで、ユーザーの関与を最小限に抑えながら究極の精度と再現性を提供するように設計されています。その高度なRIE技術と統合されたRFジェネレータは、さまざまな部品や基板に高いエッチング精度を提供します。その単結晶ダイヤモンドのようなコーティングと電気研磨壁は、卓越した真空と再現性の性能を保証します。