中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9244726 を販売中

「LAM RESEARCH TCP 9600 SE」は、半導体ウェハエッチング用途向けに設計されたエッチャースタイルの機器です。このシステムは、最適なプロセスパラメータと均一性を提供し、一貫した結果を保証するように設計されています。これは、今日の高度な構造化デバイスのエッチングに最高の精度、再現性、およびプロセス信頼性を備えた、生産における最高のスループットを提供します。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、ウェーハローディング、ウェーハマッピング、ウェーハ認識の自動化を統計処理制御機で実現するカセット搭載のフル機能ユニットです。これにより、ユーザーはレシピの選択から実際の処理まで、エッチング処理を完全に制御できます。ポンプは回転式ベーンポンプであり、信頼性が高く一貫した動作圧力をツールに提供します。エッチャーは、塩素化合物を含む処理ガスを加熱するために高出力のマイクロ波発電機を使用して、ガスをイオン化し、ウェーハからエッチングする材料を電気的にスパッタします。ガスクリーニング資産は、実験室の環境を保護するためにプロセス排水からサブミクロン粒子と不純物を排除します。このモデルは、エッチング処理を完了するためにウェーハを所望の温度に冷却する冷却絞りを備えています。TCP 9600 SEには、高度な制御システムも含まれています。これらには、水晶窓の温度制御装置、自動バルブ制御システム、基板温度制御ユニットが含まれます。石英の窓の温度調整機械は均一なエッチング率を促進するプロセス部屋の一貫した酸素の部分的な圧力を保障します。自動化されたバルブ制御ツールは、プロセスガスの安全かつ一貫したシャットオフを保証します。基板温度制御アセットは、ウェーハ上に不安定なフレークや化学種が形成されないようにします。エッチャーには、高度なオーバーフィル対策モデルも含まれています。この装置は、化学貯水池のオーバーフィルを防止し、安全で一貫したエッチング処理を保証します。TCP 9600SEは、シリコンオンインシュレーター（SOI）、単層、二重層など、さまざまなウェーハとの互換性を目的に設計されています。このシステムは、化学耐性アイソレータフードを含むクリーンルーム環境での使用を想定して設計されており、NFPA 495、 NFPA 497、 EC指令94/9/19、 ISO 9001/14001などのいくつかの安全基準を満たしています。LAM RESEARCH TCP 9600 SEエッチャースタイルのユニットは、最適なエッチングプロセスパラメータ、再現性、信頼性を提供する高度なエッチングマシンです。このツールは、一貫した安全なエッチング処理を保証し、幅広い半導体材料とクリーンルーム設定で使用できます。