中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9235586 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、半導体製造業界で使用される強力なエッチャーです。ウエハローディングからプロセス制御、製品洗浄、排出量監視まで、エッチングプロセス全体をカバーするフル機能のプラットフォームです。この装置は、最大60ミリバーの圧力範囲で動作するLAMAXガス供給システムを使用しており、エッチングプロセスを正確に制御できます。ウエハサイズ200mmまでの基板エッチングが可能で、ウエハあたりの処理時間は3〜30分です。LAM RESEARCH TCP 9600SEには、プロセスパラメータを分析し、高精度エッチングを可能にする高度なソフトウェアコンポーネントが含まれています。これらのコンポーネントには、光ベースの検出器、容量電圧スイープユニット、および高スループットガスセンサーが含まれます。このマシンを使用すると、ユーザーは希望するエッチング結果を達成するためにプロセスパラメータを調整することができます。さらに、このツールは、最適なエッチング環境を維持するために、ガス流量を正確に監視することができます。TCP 9600 SEには、パフォーマンスを監視できる内蔵の診断およびツールも含まれています。このマシンは、廃棄物と排出量を最小限に抑えながらスループットを最大化する高度な熱制御アセットを使用しています。また、すべてのモデルの機能へのアクセスを提供するタッチスクリーンインターフェイスを備えています。さらに、エッチャーには、チャンバーを清潔に保ち、チャンバー環境の汚染を防ぐための精密石英コーティング装置が装備されています。TCP 9600SEは、半導体製造業界のユーザーにエッチングプロセスを正確に調整する機能を提供する効果的で効率的なエッチャーです。強力なソフトウェアコンポーネント、優れたビルドデザイン、高度なツールを備えたこのマシンは、高品質のエッチング結果を達成するための効果的な方法を半導体メーカーに提供します。