中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228028 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、最適な性能と利便性のために設計された半導体エッチング/アッシング装置です。それは誘電体、金属および他の材料の広い範囲のための完全に自動化されたエッチング/灰プロセスを提供します。このシステムは標準のエッチング/アッシュレシピであらかじめプログラムされており、ユニークな機能のバッチを作成する際の一貫性と柔軟性を提供します。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、マルチヘッドコンベアユニット、マルチチャネル制御機、高速ウェハマッピングツールなどの高度な機能を備えています。マルチヘッドコンベアアセットは、ローラーコンベアと音響輸送サブシステムの両方を利用しています。ローラーコンベアは、さまざまなサイズのウェーハに対応するためにサイズ調整可能です。音響トランスポートサブシステムは、機械的接触なしで非接触の構成でウェーハを転送するように設計されています。ローラドライブは、閉室に減圧空気を供給し、ウェーハをチャンバー内に「浮遊」させることができます。音響輸送サブシステムは、振動チューブによって生成された音場を介してウェーハを駆動する超音波発振器によって駆動されます。TCP 9600 SEには、プロセスパラメータとウェハマッピングを制御するマルチチャネル制御モデルが装備されています。光学的にマッピングされたウェーハマッピングにより、サポートされているプラッタ上のウェーハの正確な位置決めが可能になります。マルチチャネル制御装置は、リアルタイムエッチングとアッシングの進行状況を追跡することも可能であり、エッチング/アッシュチャンバー条件がプロセス全体にわたって最適であることを保証します。ユニットに内蔵された高速ウェーハマッピングシステムは、レーザーによって駆動され、ウェーハをサポートされているプラッタに高速マッピングすることができます。保存されたマッピングデータは、エッチングおよびアッシングプロセスの状態を監視するために使用されます。マッピングマシンは、各ウェハの正確な寸法と対応する位置を、最大5ミクロンの精度でサポートされているプラッター上で正確に定義することができます。TCP 9600SEは、エッチングとアッシングのプロセス全体を正確に制御する強力なエッチャー/アッシャーです。幅広い素材の高速マッピングと精密エッチング/アッシングが可能です。自動化されたプロセスと精密制御ツールにより、一貫した信頼性の高い結果が得られます。LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、精密なマイクロ電子部品の大量生産に最適な資産です。