中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228027 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、高アスペクト比プラズマアッシャー/エッチャー装置です。MacrosolverのTCP技術に基づいた熱および化学プラズマエッチングシステムです。このエッチングユニットは、優れたトポグラフィ最適化とともに、精密パターン転送を提供します。アスペクト比の高いフィーチャーサイズで、深さが10ミクロン以上のエッチプロファイルを生成することができます。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、分子接着による低接触抵抗も可能です。TCP 9600 SEは、高いアスペクト比と高いアスペクト比のフィーチャーサイズを備えた先端材料およびエンジニアリングアプリケーションに最適です。それは高度の製造業、自動車、パワーエレクトロニクスおよび材料の塗布のための完全な機械です。高いアスペクト比と低接触抵抗性により、精度とスピードを要求されるお客様向けの汎用性の高いエッチング・成膜機です。TCP 9600SEには、リアクタントガス供給用の3つの独立したソースチャンバーと、高精度エッチング用の大型5ターゲット高純度RFジェネレータがあります。直径4インチの放射絶縁型高純度水晶プロセスチャンバーは、最高の均一性、低粒子レベル、迅速なプロセス回復時間を保証します。高度な高解像度ビデオイメージングツールにより、プロセスウィンドウのウェハバイウェハを完全に制御できます。さらに、統合された2銃の陰極アーク技術は高純度Ti、 TiN、 AlN、 Al2O3およびPVDの堅いクロム/コバルトの均一で、有効な沈殿を提供します。LAM RESEARCH TCP 9600 SEには、LAM独自のプロセス制御ツール（PCT）が搭載されており、再現可能で予測可能なプロセス性能の完全な経験を実現しています。このツールは、アーク蒸着の均一性、電流および電力制御、組込み統計プロセス制御（SPC）を備えたプロセス診断ツール（PDT）、マルチガス配送のための高度なソースガス管理を効果的に制御します。LAM RESEARCH TCP 9600SEには、ソース・ガスの分離を強化するための複数の真空ゲートアセットと、ガスの流量制御を改善するためのより大きなソース・ガス・マニホールドが付属しています。自動化された環境でのさまざまなプロセス・スループット・ニーズに合わせて、さまざまな独立したスループット・オプションを提供します。多用性がある部品はあらゆる形、低分子の沈殿物および高度の金属のエッチングが付いている400mmの基質から及びます。TCP 9600 SEは、WADDおよびSFTフォーマット、SECS/GEM、 ProdLinkおよびソフトウェアリモートデータアクセスプロトコルと互換性があります。さらに、このモデルは、ECE、 UL、 IEC、 CSAなどの最新の安全規制を満たしています。