中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9228025 を販売中
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ID: 9228025
ウェーハサイズ: 8"
Etchers, 8"
Control system: EnVision
CPU: 586 Processor
HINE 38A Indexers
Process chamber:
Ceramic TCP window
Endpoint detection, 853-001983-011
Heated endpoint window
Process kits, 6"
6" ESC Semi / Major / No minor
No chamber liner set
SEIKO SEIKI STP-1000 Turbo pump, 1000L/S
No turbo pump interlock board
Pendulum gate valve: VAT65
Vat gate valve controller: PM7
Main chamber manometer: 100mt
Turn RF coil: 6 Turns
DIP-PCB RF Tuner
Helium back side cooling
Gas
DSQ Chamber:
Hinged DSQ stripper
WVDS
Gas type and flow configuration: O2, CF4, H2O
Heated paddle, 6"
Quartz, 6"
Manometer: 10 Torr
Throttle valve pressure controller: MDVX
Auto fill WVDS temperature controller
Auto fill WVDS controller
Chemraz o-ring
APM:
Ambient and hot water: 70°C
Nitrogen gas blow dry
APM DI Water heater controller
APM DI Water nozzles
Others:
On-board 1250W generators: (3) RFG 1250
9600SE EnVision manual
No chiller
No dry pump.
LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、半導体基板の精密エッチングおよびアッシング用に設計された次世代エッチング/アッシングツールです。その高度なプロセス技術は、優れた性能と長期的な信頼性を提供し、生産設定や研究室で使用することができます。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、小さなセラミックペレットを含む両面石英触媒プレート「エッチャープレート」を使用して、水溶性反応剤と気体の均一な分布を作り出します。エッチャープレートは真空圧力環境と無線周波数（RF）パワーにさらされ、リアクタントに通電して基板に急速に駆動されます。このツールには、高度にカスタマイズ可能なソフトウェアとハードウェアプラットフォームが装備されており、空間の均一性と電力設定を正確に制御できます。TCP 9600 SEには次の機能があります。複数の基板サイズと形状に対応しているため、2 cm x 2 cmから12 cm x 12 cmまでのピースにエッチングとアッシュを使用できます。また、幅広い圧力、温度、反応雰囲気を選択できます。また、ガス流量制御システムや水処理など、いくつかの追加機能を備えており、簡単かつ安全な操作を可能にします。全体として、TCP 9600SEは半導体用に設計された精密エッチングおよびアッシングツールです。その高度なプロセス技術とカスタマイズ可能なソフトウェアのセットアップは、運用コストと時間を削減しながら優れたパフォーマンスを提供します。多目的なサイズの選択および自動化された環境制御は安全で、有効なエッチングおよびashingプロセスを保障します。LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、長期的な信頼性を備え、あらゆるエッチング/アッシング用途に最適です。
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