中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9226415 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 9226415
ウェーハサイズ: 8"
Metal etcher, 8"
Gas box MFC
Temperature controller
Process kit: EPD Sensor
Chuck type: Mechanical
(12) Board checkers
MKS: 13.32 PA
P/C ESC
VAT Valve
SBC Board type: BOSS
Video board type: Floppy disk
VME Type: Hard disk controller slot
WPS Sensor
Slit valve: Mini controller
Robot type: Cassette handler
STO Elevator type: I/O Wafer sensor
EPD Exhaust line
RF Match: L/L Purge, L/L slow vent
RF Generator type: P/C Metal etcher
(8) Motor drivers
CPU
TAITEC CH-800B H/E Chiller
Dry pump
Gauge type: TC XLL Wafer sensor
Monitor
Gas panel
TCP
Top & bottom generator: ADVANCED ENERGY RFG 1250 Bias
Chamber A:
O2: 200 SCCM
CF4: 100 SCCM
O2: 2000 SCCM
H2O: 500 SCCM
CHF3: 20 SCCM
N2: 50 SCCM
CL2: 200 SCCM
BCL3: 200 SCCM
Turbo pump:
EDWARD SCU H1000C
EDWARD STP-1000
Standalone
Autoloader type
STP H1000 with TMP
Bottom match
Wafer shape: Flte
No SMIF interface
MF Facilities
APM Chamber
ELL Arm
Load port
GEM & SESC Interface
Cassette stage
XLL Arm
RF Generator
Chamber type: 9600
Chamber process: Metal
Manometer: 0.1 mT Millipore
Standard cooling water
Top & bottom RF match
Gate valve & Throttle valve: Pendulum valve
STP H-1000L Turbo controller
Standard 4-pin cylinder
EPD Controller: 703/261.8
Chamber gases:
Gases / MFC Size / Gas name / MFC Maker / MFC Model number
Gas 1 / 300 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 2 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 3 / 50 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 6 / 3000 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 7 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Gas 8 / 200 / N2 / AERA / FC-780C
Missing parts:
VDS
Side covers
DSQ Chamber
APM Chuck motor
DI Nozzle
WVDS
Includes:
AC Rack
Cable
Signal cable box
Power: 208V
1996 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SEエッチャー/アッシャーは、半導体製造プロセスで使用される高度なウェハエッチングおよびアッシング装置です。UVエッチングからアルカリエッチングまで、さまざまなエッチング・アッシング工程を提供し、幅広い半導体デバイスを製造することができます。このシステムは、直感的なユーザーインターフェイスとプロセス設定のためのクイックコントロールを備え、ユーザーフレンドリーであるように設計されています。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、3次元静電チャック（ESC）を使用して、エッチングガスとエッチングの均一性をウェーハ表面に均一に分布させます。これにより、高精度のエッチングとアッシングが可能な限り最高の品質と歩留まりで製品が生産されるようになります。静電気チャックに使用される高分解能ピンは、エッチングガスの均一な分布と基板の温度制御を保証するのに役立ちます。TCP 9600 SEには、プロセス設定を簡素化し、エッチング速度、基板、エッチング圧力、エッチガス組成などの適切なパラメータをすばやく選択できる内蔵コントローラが付属しています。また、高速モータを搭載し、加工時間を短縮しながら、優れたエッチング均一性を実現します。また、自動洗浄機能を備えており、プロセス中に自動的にウェーハを洗浄し、製品から微粒子などの汚染物質を排除します。TCP 9600SEは、効率的なエッチングとアッシング機能に加えて、モジュラー設計などのさまざまな追加機能を提供しており、ユーザーは独自の要件に合わせてプロセス設定をカスタマイズできます。さらに、その強化された熱管理機能は、基板温度が慎重に監視され、プロセス全体で安全な限界内に留まることを保証するのに役立ちます。全体として、LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、直感的なユーザーインターフェイス、高精度のエッチング、および強化された熱管理を提供する高度なエッチングおよびアッシングツールです。このアセットのモジュール設計と強化されたオートメーションにより、ユーザーはプロセスを簡単に自分の要件に合わせてカスタマイズすることができます。
まだレビューはありません