中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9211769 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、様々な用途のためのポリマーやその他の薄膜の成膜用に設計された高度なプラズマベースのアッシャー/エッチャー装置です。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、ウェーハ上の薄膜のエッチング、エッチングレート測定、熱反射を行うことができます。システムのコア技術は、イオン爆撃の物理的効果と気相エネルギー伝達の化学的効果を組み合わせた「リアクティブイオンエッチング（RIE）」です。また、ULTRAWATERモジュールを搭載し、高純度の脱イオン処理水を信頼性の高い再現性の高い方法で提供します。TCP 9600 SEは、構造物や材料の正確なエッチングを可能にするために、最新の技術を利用しています。プログラム可能なスキャンベクトルを備えた高精度のプロセスチャンバーを搭載し、優れたプロセス制御を実現しています。また、高速エッチングサイクル用の高速プラズマソース、クリーンエッチング用の低蒸気配送ツール、ユーザーと環境からエッチングガスを分離する特殊ガス配送アセットも備えています。安全で信頼性の高い動作を確保するために、自動圧力制御、空気/ガス漏れ検出、パージガス制御、火災/ガス検出/抑制システムなどの安全機能を備えています。TCP 9600SEは、優れた性能と信頼性を提供する次世代のLAM RESEARCH Asher/Etcher Equipmentの一部です。このシステムは、プロセス制御の向上、優れた均一性、スループットの向上など、さまざまな利点をユーザーに提供します。このユニットは、ウェハレベルのパッケージングアプリケーションやその他の高度なIC処理アプリケーションに最適です。