中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9205199 を販売中
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販売された
ID: 9205199
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1995
Etcher, 8"
Chiller: 650 x 550 x 1120
Dry pumps: 650 x 1280 x 1300
Remote power module: 700 x 640 x 1850
On-board AC Dist
Type: Circuit breaker
(2) On-Board RF generators:
Onboard: SML-1250PBC (Sunsay)
Onboard: SML-1000DSQ (Sunsay)
Main process module (PM1): 9600
Wafer clamp
Electrode gap: Fixed gap
TCP Coil: 8”
Turbo pump: BOC EDWARDS
Turbo control: BOC EDWARDS (STP1000L)
Gate valve: VAT 64 (Heated)
Heat exchanger / Chiller: TAITEC CH-800B
Gas line Gas
1 BC13
2 C12
3 N2
4 SF6
5 Ar
6 O2
7 CF4
8 O2
Dry pumps:
EBARA A70W-N
EBARA A80W
EBARA AA40W
EBARA A70W
1995 vintage.
LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、半導体生産アプリケーション向けの最先端のエッチャーおよびアッシャーです。この製品は、他のエッチングおよびアッシング処理とは別に、効率的で統合された設計を備えています。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、高出力の高周波RFプラズマを使用して、半導体ウェーハ表面の不要な材料を素早くエッチングして灰にします。このデバイスは、高度なプラズマ源、精密電極設計、マルチチャンバー動作を利用して、困難なアプリケーションでも、再現性と信頼性の高い性能を提供します。TCP 9600 SEの最大アッシング/エッチング速度は、1時間あたり最大60ウェーハです。迅速なサイクルタイムと高いスループットにより、TCP 9600SEは半導体生産において最高の収率を生み出すことができます。モジュール式のシステム構成により、追加のコンポーネントとデバイスを柔軟に統合でき、ユーザーはデバイスをカスタマイズして特定の生産ニーズを満たすことができます。LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、ユーザーに一貫した結果を得るために幅広いプロセスパラメータを提供します。このようにして、メーカーは高品質のウェーハの再現性と信頼性の高い生産を期待できます。ユーザーは、デバイスを別の深さで、異なるエッチング速度でエッチングとアッシュに設定することができ、特定のウェーハとレイヤーにプロセスをカスタマイズすることができます。これらの機能はすべて、コンパクトな設計によって支えられており、高いスペース対性能比を実現しています。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、ほとんどのスペース・クリティカルなアプリケーションに最適です。また、低圧プラズマ源と組み込みの放射線防護機能により、安全に動作できます。これにより、メンテナンス時間が短縮され、作業者の安全性が向上します。TCP 9600 SEは、その高度な機能、印象的なエッチングとアッシング性能、歩留まりを最大化するための高速サイクリング時間に感動します。LAM RESEARCHエッチャーとアッシャーは、正確で再現性が高く信頼性の高い結果で、複雑な半導体製造アプリケーションに最適です。
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