中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197974 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、現在の半導体業界の急速で困難なニーズに対応するために開発された、高性能で自動化されたエッチャー/アッシャー装置です。迅速なターンアラウンドタイム、高精度のエッチング結果、最新の生産アプリケーションのすべての要求に対応するように設計された高度なプロセス制御機能を提供します。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、優れたスループットを実現するよう設計されており、金属、酸化金属、シリコン、およびその他の誘電膜を含む幅広い材料に対応できます。その制御可能なプラズマ源は、高品質のエッチング結果をそこに寸法、均一性制御処理環境で可能にします。そのダイナミックエアフロー位置決めは、ソースから基板までのプラズマを制御し、不要な消費を最小限に抑え、目標とするエッチング率を達成します。TCP 9600 SEには、高度なフィルタを使用してチャンバー環境における揮発性有機化合物の存在を最小限に抑える革新的なガス除去システムが装備されています。このユニットは、安全で準拠したプロセス環境を確保するために不可欠です。TCP 9600SEはまた、人員の最大限の保護を確保するために、ガス・インターロックや外部圧力センサーなどの追加の安全対策を採用しています。機械の高度なプロセス制御機能により、生産プロセス全体で最高レベルの再現性と歩留まりが保証されます。このツールが提供する統合ソフトウェアスイートにより、リアルタイムのプロセス監視とデータ収集、およびポストプロセスファイル分析とレポート作成が可能になります。さらに、オンボードウェーハマッピングアセットにより、複数のウェーハにまたがるインピーダンスとイメージベースのプロセスパラメータを同時に自動化し、プロセスの総監視を可能にします。最後に、業界で実績のある赤外線プロセスヘッドにより、ウエハモーションが徹底していないため、ウェハランタイムが長くなり、妥協のない品質、スループット、歩留まりが得られます。LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、最高レベルの精度と効率的なプロセス制御から厳しい安全性チェックまで、エッチャー/アッシャー技術において比類のない機能と信頼性を提供します。これは、絶えず変化する半導体業界の需要のために、信頼性が高く、スケーラブルで収益性の高いソリューションを必要とする人々にとって理想的なモデルです。