中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9197777 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、効率的で信頼性の高いエッチングとアッシング性能を提供する最先端のエッチングおよびアッシャーです。この装置は、非常に反復可能で自動化されたプロセスで設計されており、使いやすいコントロールとともに、迅速かつ正確な結果を提供します。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、最も要求の厳しい生産および研究環境において、大量のスループット要件を満たすように設計されています。自動化されたカセット/カセットプロセスと効率的な負荷処理を備えているため、迅速かつ一貫した生産が可能です。TCP 9600 SEはハイスループット容量を備えており、最大96基板のカセット容量を備え、1カセットあたり8基板まで対応できます。このユニットの低いクロス汚染と低い基板堆積率は、非常に反復可能で安定したエッチングおよびアッシングプロセスを提供します。TCP 9600SEには自己完結型プロセスチャンバーが装備されており、簡単な交換と連続洗浄が可能です。プロセスチャンバーはワンステップのベークアウトプロセスと統合され、ダウンタイムを最小限に抑え、最大のアップタイムとスループットを実現します。このマシンは高度な診断機能を備えており、プロセスをリアルタイムで監視できます。このツールの精度は比類のないもので、エッチングとアッシングのすべてのステップで3％以内の再現性と精度を提供します。統合されたプロセスガードは、不要なエッチングを防ぎ、基板沈着が少ない非常にレベルの高いプロファイルを提供します。LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、ArF、 IBE、さまざまな抵抗性を持つウェーハのディープエッチングなど、さまざまな材料をエッチングおよびアッシングすることができます。全体的に、LAM RESEARCH TCP 9600SEは、高効率で制御された環境で優れたエッチングおよびアッシング性能を提供します。カスタマイズ可能なプラットフォームと安定したプロセスにより、TCP 9600 SEは、あらゆる研究環境または生産環境において最高の生産性、スループット、および精度基準を満たすように設計されています。