中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9169594 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、研究および産業用途に最適な高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは世界的に調整されており、最適な性能のための窒素リサイクルクレードルが含まれています。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、0。25 nm/minから1。0 nm/minまでの最大12個のガスと線形速度のプロセス範囲を持つシングルウェーハエッチングおよびアッシングユニットです。これは、-20°Cから+20°Cまでの完全な温度制御を提供し、新しいプロセスの研究開発に必要な柔軟性を提供します。TCP 9600 SEは、特許取得済みの線形速度プロファイル（LVP）制御を備えており、ウェーハの歪みを最小限に抑えた優れたプロセス均一性を提供します。操作を容易にするために、TCP 9600SEには、複数の言語オプションを備えたユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスがあります。レシピのグラフィカルな表現と重要なパラメータを提供し、レシピの操作と検証を迅速かつ効率的に行います。さらに、LAM RESEARCH TCP 9600 SEを使用して、実行開始前に複数のプロセスパラメータをシミュレートすることで、推測を排除し、完了までの時間を短縮できます。LAM RESEARCH TCP 9600SEエッチャー/アッシャーは、高度にカスタマイズされたテンプレートの形で追加の柔軟性を提供します。これにより、ユーザーはマシンの操作を自動化および簡素化するのに役立つ幅広いスクリプトを利用できます。安全性に関しては、TCP 9600 SEにはアクティブプラズマロックが付属しており、プロセスパラメータを超えるか異常が検出された場合にプラズマを自動的に遮断します。これは、研究者が危険な排出から安全に保つために重要です。このツールには、緊急時に機械をシャットダウンするために使用できるESD（緊急シャットダウン）アセットも装備されています。全体として、TCP 9600SEは研究および産業アプリケーションに最適な高度なエッチャー/アッシャーモデルです。ユーザーフレンドリーなインターフェイスと高度にカスタマイズ可能なテンプレートにより、操作が簡単になり、高度な安全機能によりユーザーは最大限の保護を提供します。