中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153545 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEは最先端のエッチャー/アッシャーです。プラズマエッチングおよびウェットケミカルエッチング/アッシングプロセスで使用するために設計されています。このマシンは、クリティカルフィルム、ハードマスク残留物、特殊フィルムなどの高度なプロセスアプリケーションに適しています。モジュール式で統一された気密室を備えており、RIE、 ICP、プラズマエッチング、ウェットケミカルエッチング、アッシングを行うことができます。この機械には、層流、大容量真空ポンプ、高周波RFジェネレーター、高解像度エッチング制御システムなど、幅広いツールが搭載されています。これらにより、優れた一貫性、精度、再現性を備えたさまざまなエッチングプロセスを実行できます。その圧力制御はまた、高精度のプロセス制御を可能にします。LAM RESEARCH TCP 9600SEには自動化されたレシピオプションもあり、ユーザーはプログラミングを必要とせずにバッチ処理を素早くセットアップし実行することができます。さらに、プロセスエンドポイント検出器やプロセスパラメータの自動調整など、さまざまな自動監視および制御システムが装備されています。TCP 9600 SEは、業界をリードする安全機能も備えています。これらには、機械の特定の領域へのアクセスを制限するオペレータインタフェース、重要な機能温度、ガス圧力、またはその他のプロセスパラメータが発生した場合の自動シャットダウン、および統合されたデュアルリスタートシステムが含まれます。また、定期的な予防メンテナンス、延長保証、販売後のサービスとサポートなど、メーカーからの堅牢なメンテナンスプログラムが付属しています。これは、顧客の心の部分は、彼らの投資は、今後数年間の世話をすることができます。TCP 9600SEは、エッチング/アッシングプロセスを実行しているあらゆるラボに最適です。技術的な卓越性、スマートな運用機能、およびアフターサービスとサポートの組み合わせにより、あらゆる施設に最適です。