中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9153019 を販売中

LAM RESEARCH TCP 9600 SEエッチャー/アッシャーは、半導体材料のエッチング/アッシングのための高性能で費用対効果の高い信頼性の高いツールです。この機械は直流（DC）または無線周波数（RF）ベースのソースを使用して、平面および垂直エッチング領域内でエッチング/アッシングすることができます。エッチャーのプロセスチャンバーはステンレス製で構成されており、感度の高い半導体ウェーハとパターンの高い半導体ウェーハの両方を処理するための安定した安全な環境を提供します。9600 SEには強力なプログラマブルモータとファン制御が装備されており、エッチング/アッシングプロセス中のプロセス条件を正確かつ正確に制御できます。この装置は、高度なガス/真空ソースを使用して、ウェーハ表面全体に均一で一貫したエッチング/灰プロファイルを提供します。さまざまなガスの流れと圧力を設定して、幅広いエッチングのニーズに対応し、高度な制御を可能にします。また、エッチャーにはさまざまな電極が装備されているため、エッチングする材料によって異なる運動エネルギーを印加することができ、一貫した高性能を実現することができます。9600 SEの精密アッシング機能により、高いアスペクト比の機能を非常に正確にアッシングできます。システムの高度なプロセスチャンバーは、表面の損傷を最小限に抑え、エッチング/アッシングプロセスを最適化するように設計されています。さらに、エッチャーは高度な自動ウェーハ転送ユニットを備えており、待ち時間を最小限に抑えた高速ウェーハ処理を可能にします。9600 SEのプログラミング機能は、エッチング/アッシュプロセスを完全に制御し、自動化されたプロセスにより、品質に妥協することなく高スループットを実現します。このマシンには、サーマルイメージングやエアフロー解析などのさまざまな監視システムが組み込まれているため、オペレータが重要になる前に潜在的な問題を認識することができます。さらに、このツールはスマートデータ収集とストレージソフトウェアを利用しており、ユーザーはプロセスパラメータを簡単に監視および制御できます。LAM RESEARCH TCP 9600SEエッチャー/アッシャーは、高性能、高スループットのアプリケーションに最適な、非常に汎用性が高く、信頼性が高く、費用対効果の高いエッチング/アッシングソリューションです。高度なプログラミング機能、高度なプロセス機能、包括的な安全機能を備えた9600 SEは、エッチング/灰アプリケーションに最適です。