中古 LAM RESEARCH TCP 9600 SE #9134002 を販売中
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販売された
ID: 9134002
ウェーハサイズ: 6"
Etcher, 6"
Operation system: Classic
Clamp type: E
APM Type: Standard
Stripper type: DSQ
General hardware information:
System requirements: 208V / 3PH / 50 / 60Hz
AC / DC Configuration: 001
Gas box type: Orbital type
Main chamber pressure regulation type:
WVDS Type: Auto
DSQ Type: Hinged
TMP Options:
TMP Type: A1 1300M
Endpoint detection options: 261 / 703
Endpoint window type: Non HTD
Monochromator hard structured: N
Lam standard remote AC box: No
CR Configuration:
Ballroom: Bulkhead
Mini environment: No
Factory automation configuration:
Open cassette: 6"
Miscellaneous configuration:
Remote user interface: Yes
XLL Wafer sensor: Yes
Vacuum / RGA Check port: Vacuum check port main chamber
Manuals: No
Pumping system options: No
Mainteinance tool kits: No.
LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、正確で制御可能な洗浄を必要とするチャンバー壁やその他の表面の精密で再現可能な洗浄用に設計されたエッチャー/アッシャーです。非金属製のスプレー装置を使用して、正確で繰り返し均一な洗浄プロセスを作成します。このシステムは、正確なカバレッジと正確に再現可能な洗浄が可能で、一貫して正確で信頼性の高い結果が得られます。LAM RESEARCH TCP 9600SEは、液体の流量を極めて微細な粒子サイズに制限するパルススプレーノズルを採用した特許技術を特許取得しており、市場の他のどのユニットよりもはるかに細かいスプレーパターンを生成します。これにより、繰り返し可能で正確であり、より高い精度でチャンバー壁のより高い領域をカバーすることができるカバレッジのパターンが作成されます。また、陽極酸化蒸気を利用した独自のスプレーコーティング機構を備えており、表面を一貫して正確に洗浄することができます。TCP 9600 SEには、クリーニングプロセスが安全で効率的であることを保証するために、多くの安全機能が装備されています。これらには、耐摩耗性材料、および流出から保護し、プロセス中に作成された任意のエアロゾルを含む内蔵スクリーンが含まれています。このツールには、クリーニングソリューションの流れに予期しない停止が発生した場合の自動シャットオフ機能も装備されており、機器またはチャンバー壁の潜在的な汚染を防ぎます。TCP 9600SEはまた、高度な制御機能の範囲を備えています。これには、正確で繰り返し可能なカバレッジを確保するための調整可能なスプレー設定、および異なる表面およびクリーニング要件に合わせて異なる設定で複数のクリーニングサイクルを設定する機能が含まれます。このアセットは、スプレーコーティングプロセスの自動再調整を実行し、手動校正の必要性を低減し、モデル性能を向上させることもできます。結論として、LAM RESEARCH TCP 9600 SEは、精密で制御可能な洗浄を必要とするチャンバー壁やその他の表面の精密で再現可能な洗浄が可能なエッチャー/アッシャーです。特許取得済みのテクノロジーが特許を取得しており、非常に細かく反復可能なカバレッジを作成します。また、安全機能と高度なコントロールにより、信頼性と一貫した結果が得られます。高性能と安全性を兼ね備えたLAM RESEARCH TCP 9600SEは、正確で信頼性の高い洗浄プロセスをお探しのお客様に最適です。
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